中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293794156 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plusは多目的エッチングおよびアッシング装置です。高度に自動化され、柔軟性が高く、使いやすいシステムであり、拡散、インプラント、エッチング、および基板処理を行います。基板を最大4つのソースカセットから連続的にロードする全自動基板交換ユニットを備えています。このマシンは、アッシャーおよびエッチャーモード、チャンバー構成、および基板径を変化させることにより、最大限の柔軟性を提供します。このツールはまた、高速負荷サイクルタイムを可能にし、ダウンタイムを削減します。アセットには、高温エッチングチャンバーとアッシャーチャンバーも付属しています。エッチングやアッシング時に低温均一な反応ガスを供給するために、大型のモノクロシランノズルが使用されています。ノズルには、基板全体に均一なガス配分を可能にする調整可能なガス配送モデルが装備されています。GASONICS PEP 3510 Plusには、より高いプロセス制御精度を実現するダイレクトドライブ制御装置もあります。また、ウエハモーションコントロールユニットは、基板の歪みや振動を低減するように設計されています。モジュラーマシンは、メモリから保存および取得できる幅広いプロセスレシピを可能にします。ユーザーは、エッチング、アッシング、およびその他のフロントエンドまたはバックエンドのプロセス手順のレシピを作成できます。また、CAPE （Computer Aided Process Engineering）ソフトウェアパッケージも含まれており、ユーザーは専門的なプロセス用にアセットをプログラムすることができます。このモデルは、高スループット、低粒子衝突、低消費電力を提供するように設計されています。また、低真空または高圧環境で動作するように設計されており、ウェハ製作、半導体デバイス製造、ディスクドライブ製造、MEM製造など、さまざまなアプリケーションに適しています。NOVELLUS PEP 3510 Plusは、ラボや生産環境に最適な機器です。高品質の部品セットで構築されているため、信頼性、耐久性、費用対効果が高くなります。