中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293753218 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plusは、高度な半導体デバイス処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、4つの個別にロードされたウェーハプラテンホルダーを備えたマルチプラテンエッチャー/アッシャーです。このマシンは、高度なプロセス制御、高スループット、および低い総所有コストなどの高度な機能を備えています。GASONICS PEP 3510 Plusは、エッチングとアッシング機能を最適化した単一のウェーハ処理チャンバを備えています。フロントロード/アンロードドアに簡単にアクセスでき、1ステップでウェーハの転送とロードを可能にします。ウェーハ保持機構を備えており、正確な動きと適切なウェーハ間アライメントを保証します。このチャンバーには、優れたプラズマエッチング制御を提供し、正確な層の厚さ制御を可能にするLEDプロセスが含まれています。NOVELLUS PEP 3510 Plusは、プロセスの変動を低減し、層の均一性を向上させるために最適化されたハイスループットエンドポイント検出アルゴリズム（ETD）も備えています。LEM （Layer Etch Monitor）による現場でのプロセス監視を自動化し、エッチプロセスパラメータとプロセス時間を監視することで、無駄を削減し、層の厚さの損失を最小限に抑えます。最後に、PEP 3510 PlusにはResource Smart機能があり、最適なレシピとプロセスサイクルを特定してデバイス構造特性を達成し、デバイスの歩留まりを改善し、総所有コストを削減できます。GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plusは、高度な半導体デバイス処理の最高のスループット要件を処理し、優れた結果をもたらすように設計されています。均一なエッチングと優れたアッシング特性を実現する高温チタンエッチングチャンバーを備えています。また、粒子の汚染を低減し、デバイスの信頼性を高めるための低エネルギー入力設定も備えています。GASONICS PEP 3510 Plusの高精度な結果は、標準的なギャップと複雑な設計で20nmレベルのエッチングとアッシングを可能にします。機械はまたOSHA、 NFPAおよびCSAを含む適当な安全基準を、満たすように設計されています。全体的に、NOVELLUS PEP 3510 Plusは、プロセス制御を強化し、正確な層の厚さ制御を可能にし、プロセスの変動を低減し、層の厚さの損失を最小限に抑え、総所有コストを削減する機能を備えたマルチプラテンエッチャー/アッシャーです。高いスループット機能と最適化されたエンドポイント検出により、優れたプロセス結果を保証します。これにより、高度なデバイス処理に最適です。