中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3500 #9202560 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3500は、直径6インチまでの基板に優れた性能とプロセスの柔軟性を提供する最先端のエッチャー/アッシャーです。アルミナまたはクォーツPETRでウェーハを1ステップで加工できます。GASONICS PEP 3500は、低チャンバーガスフロー設計を特徴とし、微細なポイントとギャップフィルだけでなく、複雑な構造で拡張走行を可能にします。電子ビームガンを独自に制御し、プロセス制御を強化しています。各ガンは最大500ワットの電源を設定可能で、毎分40インチまでの速度で基板上を移動できます。ビームガンは、モジュール式のフルフィールド磁化ソースホルダーに統合されており、ソース選択の柔軟性を提供し、幅広い材料エッチングおよびアッシング要件を可能にします。その最適化された圧力制御システムは、処理中に優れたベース圧力レベルを維持します。高められた安全のために、部屋全体はステンレス鋼から成り、産業設定の長期操作のために設計されています。また、冷却システムを備えており、熱の蓄積を防ぎ、処理中の基板を保護します。NOVELLUS PEP 3500は、マルチレベルのセキュリティ対策を備えており、安全分析および/または労働安全衛生管理システムの要件に準拠しています。さらに、オンボードの高速メンテナンススケジューラは、予防的かつ予防的なメンテナンス対策を可能にします。すべてにおいて、PEP 3500エッチャー/アッシャーは優れた性能とプロセスの柔軟性を提供し、あらゆる半導体エッチング用途に最適です。