中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824582 を販売中
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GASONICS/NOVELLUS PEP 3010Aは、配列された物理的および化学的プロセスを利用して、回路基板や半導体部品の複雑な形状の製造を実現するエッチャーおよびアッシャー装置です。対象領域に焦点を当てた窒素-酸素混合物からのプラズマの高分解能ビームを搭載し、望ましいパターンを高精度に画像化します。このシステムは、業界標準の3倍までの精度で、0。02 μ mまでの再現性と再現性のあるプロセスを実現することができます。GASONICS PEP 3010Aは、ステッピングリソグラフィ、ドライエッチング、スパッタ沈着、焦点イオン、プラズマインプラント化イオンビームなど、さまざまなサブミクロン工程に設定できます。さらに、NOVELLUS PEP 3010Aは、表面エッチングと導電性金属層の堆積の両方を行い、複雑な集積回路構造を構築することができます。プラズマビームを誘導する多方向ビーム偏向ステーションを備えており、0。02ミクロンのプラズマ駆動リソグラフィが可能です。PEP 3010Aには、効率的な処理のために必要な圧力と流量で必要なガス供給を確保するために設計された統合プラズマ供給ユニットがあります。また、ガス流量とガス組成の最適化を常に監視および調整するクローズドループコントローラを備えています。また、エッチングとスパッタレートの正確な制御、および金属蒸着層の正確なタイミングを可能にするマイクロ吸引システムで設計されています。また、エンドポイントセンシングツールを自動化して設計されており、必要なエッチング速度とレイヤーの厚さを正確に制御できます。この資産は、望ましいプロファイルと層の厚さが達成されたときにエッチング処理と信号を継続的に監視します。さらに、GASONICS/NOVELLUS PEP 3010Aには、高速広告正確な故障検出と自動回復を備えた高度な診断モデルが装備されています。簡単で信頼性の高いメンテナンスを可能にするツールの完全なセットは、パッケージを完了します。GASONICS PEP 3010Aは、今日の最も困難なエッチング要件を満たすように設計されており、最先端のプロセスに必要な柔軟性と精度を提供します。精密な画像処理、高速かつ正確なエンドポイント検出、自動化されたメンテナンスの組み合わせにより、NOVELLUS PEP 3010A、あらゆるエッチングおよびスパッタリングアプリケーションに最適なソリューションです。
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