中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824576 を販売中
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GASONICS/NOVELLUS PEP 3010Aは、基板上にさまざまな幾何学的形状やパターンを作成するために使用される費用対効果の高いプラズマエッチャーとアッシャーです。真空密封され、複数の電極を含むチャンバーを利用してプラズマ状態を作ります。GASONICS PEP 3010Aは、エッチング、デポジット、およびエッチングに同時に使用できる精密に制御されたエネルギー反応イオンビームの利点があります。さらに、アッシャーは、アルミニウム、銅、タングステン、ガリウムヒ素、ポリシリコンなどのさまざまな材料をエッチングすることができます。NOVELLUS PEP 3010Aプラズマエッチャーとアッシャーは、3軸ブリッジ取り付けロータリーバルブを備え、粒子とウェーハの破損を低減します。この3軸の設計により、あらゆる基板上で正確で反復可能な結果が得られます。さらに、エッチャーとアッシャーには、安定した電源を生成するための高周波AC電源が含まれています。これにより、効率的な運用と最小限のメンテナンスが保証されます。PEP 3010Aにまた部屋の中の最適環境を維持する独立した温度および圧力コントローラーがあります。これにより、システムのダウンタイムと機械的な摩耗が軽減されます。GASONICS/NOVELLUS PEP 3010Aは、さまざまな形状やパターンをエッチングできる柔軟なシステムです。また、マスクサイズ、エッチング深さ、異方性エッチング、高速エッチングのための幅広い設定を提供しています。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションのプロセスをカスタマイズできます。さらに、エッチャーとアッシャーは低電圧のグロー放電を利用して、基板の精密で効率的な処理を行います。GASONICS PEP 3010Aは、費用対効果の高い高精度エッチングとアッシングを必要とする生産環境に最適です。これは、信頼性の高い正確なエッチングプロセスを提供し、所有コストが低いという付加的な利点を持っています。NOVELLUS PEP 3010Aは、基板上の複雑な幾何学的パターンや形状を作成するための貴重なツールです。
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