中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824443 を販売中
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GASONICS/NOVELLUS AURA 3000は、ディジタルイメージング処理（DIP）やシームレス層処理（SLP）などの高度な技術を使用して、多種多様な材料に精密なフィーチャーと表面を作成する高度なエッチャー/アッシャーマシンです。このシステムは高精度で高速な製造アプリケーションに適しています。このマシンは、ICPチャンバーと多波動及び調整可能なエッチング角度のための統合されたモーションステージを備えた大型のダイヤモンドハードチャンバーを含む2つの異なるチャンバーオプションを提供します。GASONICS Aura 3000は、RF発電機、マイクロ波発電機、および可変アークプラズマ発電機を含む3つの独立したDIP源を提供しています。これらの独立したソースは、エッチングの最高品質を保証します。また、このマシンには独立したDIPソース用の3つの独立したアイソレータがあり、エッチング処理中に汚染が発生しないようにします。NOVELLUS Aura 3000は、エッチングする材料の重要な特徴を識別するためのレーザー検出器も提供しています。これにより、より精密なエッチングが可能になり、滑らかな表面仕上げと材料摩耗の減少が保証されます。さらに、このマシンには統合されたビジョンカメラも含まれており、システムがエッチング処理を整列および監視するのに役立ちます。Aura 3000にはさまざまなプロセス制御フィードバックツールがあり、エッチング処理を管理しやすく、より正確にすることができます。これらのフィードバックツールは、プロセスを監視して、エッチングサイクルのあらゆる段階で正確な条件が維持されるようにします。これらのプロセス制御機能に加えて、GASONICS/NOVELLUS Aura 3000には、高速エッチング、パルス幅スキャン、セグメントスキャン、延期コマンドなどの高度な制御機能も含まれています。これらの高度な制御機能により、ユーザーはエッチング処理を完全に制御し、エッチングを非常に効率的にします。最後に、GASONICS Aura 3000は、過酷な生産環境での長期耐久性のために構築されています。それは一定した使用に立つように設計され、耐食性のステンレス鋼と造られます。これにより、機械は長時間正確な精度を維持し、最も極端な生産条件で確実に動作することが保証されます。全体的に、NOVELLUS Aura 3000は、プロ仕様の機能、性能、精度を提供するパワフルで信頼性の高いエッチング/灰マシンです。その高度な機能、制御、および組み込みの信頼性により、高精度、高速エッチングおよびアッシング用途に最適です。
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