中古 GASONICS / NOVELLUS PEP 3010 #9230241 を販売中

GASONICS/NOVELLUS PEP 3010は、半導体材料の製造に使用される基板の精密エッチング用にGASONICS Systemsによって作成されたエッチャー/アッシャーです。CO2レーザーと電子ビーム（eビーム）リソグラフィーシステムを組み合わせたデュアルビームイメージング装置を採用しています。この組み合わせにより、競合するエッチャーよりも解像度と精度の高い円形、正方形、長方形の基板のイメージングが可能になります。GASONICS PEP 3010は、ヒ素ガリウム（GaAs）、シリコン、リン化インジウム（INP）、ゲルマニウムおよび他の化合物半導体材料を含むさまざまな基質を処理します。エッチャーは、平面形状と厚さ0。1mmから0。25mm （1/10〜1/4ミリメートル）の基板を加工するように設計されています。また、幅広いエッチング速度を処理し、さまざまな深さで再現可能であり、半導体業界で利用可能なマスクサイズと基板のフルレンジに対応しています。エッチャーには2つの特殊部品が含まれています。最初のセットには、レーザーと電子ビームリソグラフィーツールで構成されるイメージングユニットがあります。レーザーモジュールにはミラー、ビームエキスパンダー、ガルバノメーターミラーがあり、レーザービームを集中させ、基板の所望の領域を正確に照射するために使用されます。2つ目のセットには、ガスプレナムチャンバー、ソレノイドバルブ、コンダクタンス制御シャワーヘッドが含まれています。これらのコンポーネントは、エッチングガスの流れを正確に調整して、望ましいエッチング速度、深さ、プロファイルを得るために使用されます。NOVELLUS PEP 3010は、Human-Machine Interface （HMI）により、さまざまなエッチングタスクのレシピをプリプログラムできます。このレシピでは、ガス流量、ガス圧力、温度、電圧、パルス持続時間など、カスタマイズされたエッチングパラメータをプログラムできます。このマシンはまた、エッチング処理中に発生する可能性のある問題にユーザーに警告するアラームと自動回復マシンのセットを備えています。PEP 3010は、ジェットエッチャーや自動基板ローダー/アンローダーなど、いくつかの周辺部品と連携して動作します。ジェットエッチャーは、不活性ガスと組み合わせた反応性ガスのジェットを使用し、高速かつ高解像度でエッチングを行うことで、エッチングの精度をさらに向上させます。自動化された基板ローダ/アンローダは、エッチャーとジェットエッチャーの間の基板を輸送し、エッチング処理の効率とスループットを向上させます。GASONICS/NOVELLUS PEP 3010は、半導体材料の製造に最適なツールです。比較的小さいサイズ、高速、解像度、高度なレシピにより、エッチングの効率と精度を最大限に高めます。さらに、さまざまな産業環境で使用できるように設計されているため、非常に汎用性が高く、かつ強力なエッチングツールとなっています。