中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9411534 を販売中
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ID: 9411534
ヴィンテージ: 2000
Asher
Photoresist strip
Substrate size: 3"-8"
Footprint: 30"
Main frame:
Aluminum chamber
Quartz chamber
Wafer cooling station with PCW
Platen and lamp heating (Flexibility)
Reliable endpoint detection
Z-Bot station (Robot)
Load cassettes elevator
DC Power supply: -5, +5, -12, +12 VDC
(2) DC Power supplies: +5, -15, +15, +24 VDC
I/O Board
Distribution board
Display board
Graphics control board
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Microwave generator: 2.45 GHz, 1250 W
Interlock wafer transport
Microwave power supply
Gas flow controller
Visual alarm indicator lamp
Quartz gas distribution shower heads
Radiant heating plate
UV Lamp
End point detection
Plasma system controller
Tolerance limit alarm (pressure, flow, lamps)
Gas handling module and control features
(3) Gas lines with purge:
O2 MFC
(2) N2 MFC
Stainless steel valves gas line
Solenoid control: 24 VDC
Soft pump to limit chamber turbulence
AC Power box
Circuit breaker: 30 Amp
Remote option connector
EMO Control to master system
Circuit breaker
Magnetron
Schematic display driver
Process kits
Panel included
Manuals included
Power supply: 200-240 VAC, 50/60 Hz, Single phase, 30 A
2000 vintage.
GASONICS/NOVELLUS L 3510は、生産環境におけるスループットとトータルプロセス制御を最大化するように設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、ハイエンドレーザー制御とソフトウェアソリューションを備えた自己統合プラットフォームであり、特定のニーズに応じてエッチングおよびアッシャーパラメータを識別、測定、および変更します。GASONICS L 3510 Etcher/Asherの革新的な機能と性能は他に類を見ないものです。レーザーベースの技術は、最も複雑なデバイスの製造においても、最高の精度と精度を保証します。さらに、薄膜製剤や誘電体の先進層から、サファイアや酸化ケイ素などの光学材料のエッチングやアッシングまで、さまざまな基材や技術に対応しています。NOVELLUS L 3510は、堅牢で産業用グレードのプラットフォーム上に構築されているため、厳しい生産サイクルに適しています。15インチの大型デッキは、迅速な切断とモジュール式アドオンを可能にするため、生産要件の変化に合わせてマシンを迅速に進化させることができます。このツールにはモノリシックなリニアレゾナントアクチュエータも装備されており、基板の大きなバッチ上のドリフトを最小限に抑え、均等に分散された結果を保証し、一貫したエッチパラメータを維持します。アセットのソフトウェアプラットフォーム自体は、エッチングのあらゆる側面を容易にするように設計されています。ユーザーインターフェイスにより、レーザーのステップバイステップ応答や複数の共振器の同時制御など、プロセス全体を完全に制御できます。さらに、このソフトウェアは、プロセスの個別監視、構成制御、および外部フィードバックを可能にし、迅速かつ正確なプロセス調整を可能にします。全体的に、L 3510 Etcher/Asherは、幅広い生産プロセスで信頼性の高い再現性のある結果を保証するクラス最高のモデルです。高精度のレーザー制御、統合されたハードウェアプラットフォーム、および包括的なソフトウェアスイートは、要求の厳しいエッチングおよびアッシング操作のための最高の精度と制御を保証します。
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