中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9400257 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、シリコンウェーハから薄膜基板に層を転送するために使用できるエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、高精度の窓と表面プロファイル成形用に設計されており、さまざまなエッチングおよび成膜化学品と互換性があります。微細・ナノスケール加工に最適で、太陽電池製造、化学・ガスセンシング、MEMS/NEMS技術などのプロセスで使用できます。GASONICS L 3510には、エッチングやアッシングに適した様々な機能が搭載されています。フォーカス制御を内蔵した先進的な光学ウィンドウアセンブリ、アプリケーションニーズに合わせて簡単に構成できるモジュラー設計、デュアルビームコラムアーキテクチャ、および堅牢な高密度電源装置を備えています。また、高度なガスのパージや真空システム、温度ジオコレレーション、安全で信頼性の高い動作のためのクーラント処理など、さまざまな環境制御パラメータを備えています。さらに、このデバイスには最大50nmの精度を達成できるダイレクトライトシステムが装備されており、非常に正確な結果を得ることができます。性能面では、NOVELLUS L 3510は最高の精度と柔軟性を目指して設計されています。10e-6 Torrの低真空レベルで動作可能で、蒸着速度は最大200A/min、エッチング速度は最大20 mA/cm2です。DC電源ユニットを搭載しており、最大600V 5kWで動作可能です。さらに、このデバイスには、敏感なビーム電流計、可視性モニター、ガスセンサーなど、さまざまな診断ツールも装備されています。L 3510は維持し、整備し易いです。このデバイスには、さまざまな監視パラメータと調整可能なオペレーティングモード制御が装備されており、診断とトラブルシューティングを簡単に行うことができます。さらに、このデバイスには、パフォーマンスを向上させるための自己診断機など、さまざまな安全機能が装備されています。このデバイスはまた、互換性のある消耗品の範囲と互換性があり、簡単な交換とクリーンルーム操作を可能にします。結論として、GASONICS/NOVELLUS L 3510は、高精度の窓と表面プロファイル形成プロセス用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。マイクロおよびナノスケールのアプリケーションに最適であると同時に、信頼性の高い安全な操作を提供するさまざまな機能を備えています。性能面では、このデバイスは高精度であり、さまざまな調整可能なパラメータを提供します。GASONICS L 3510は、簡単なメンテナンスと保守性により、エッチングとアッシングプロセスに最適です。