中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9396061 を販売中

GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510は、半導体製造用に設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。GASONICS L 3510は、トムソン散乱および高エネルギー源を利用して、フォトレジストなどの材料をサブミクロン単位で精密エッチングおよびアッシングすることができます。このシステムは、イオン源カラム、イオン光学カラム、静電レンズ、イオンエネルギー乗算器、およびイオンエネルギーセンサーで構成されています。さらに、さまざまなインチャンバー光学およびプロセス技術は、専用のC ontrol Pプロセッサによって制御されます。NOVELLUS L 3510の高度な分析ユニットには、高品質の表面分析機能が組み込まれており、高度な光学材料整合性をサポートする敏感な材料の除去と不動態化を可能にします。L 3510の最も顕著な特徴の1つは2つのレベルのエネルギー粒子オプティマエッチングおよびashingの選択を可能にする調節可能なガスの注入機械であり従って効果的に結果の超微細調整を可能にします。GASONICS/NOVELLUS L 3510は、エッチングとパッシベーションのために、シリコンウェーハ、ヒ素ベースのウェーハ、クォーツウェーハなどの複数のウェーハを受け入れます。また、GASONICS L 3510に搭載された解析スイートでは、総イオン出力、イオンエネルギーの均一性、イオンビーム位置の均一性、チャンバー圧力などのプロセス変数をリアルタイムで監視および測定することができます。オプションのConsuL Turbo ECマルチチャンバーツールを使用すると、複数のNOVELLUS L 3510エッチャー/アッシャーシステムを連動させることができ、複数のウエハの自動処理および解析が可能になります。L 3510は、優れたデータハンドリング機能と通信インターフェイスシステムも備えています。深さプロファイルなどのデータ分析は、内蔵のグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）で有効になります。全体として、GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510は、最新の半導体製造のための性能指向、信頼性、費用対効果の高いエッチャーおよびアッシャーです。