中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9392635 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、プラズマ、化学、物理エッチングプロセスを単一の統合ツールに組み合わせる高度なエッチャー/アッシャー装置です。この高度なシステムは、高度な相互接続から複合半導体デバイスまで、幅広い用途に適しています。エッチャー/アッシャーは、4つの独立したチャンバーを備えた統合されたロボットウェーハハンドリングユニットを備えており、それぞれ独自のガスとプロセス制御を備えています。このマシンはオプションのマルチステッププロセスも提供しており、ユーザーは各チャンバーで最大8つのレシピを定義できます。この機能により、エッチャー/アッシャーは1サイクルで複数の基板を処理でき、スループットとユーザーの柔軟性が向上します。GASONICS L 3510は熱および化学エッチングの技術を利用します。熱エッチングは、100ワットまでのプラズマ条件を生成することができる反応性イオンエッチャー/プラズマエッチャーを使用して行われます。このツールは、基板表面調製を最適化するための調整可能なベーキングプロセスも備えています。プラズマエッチャーは、さまざまな化学種を利用して材料を除去するケミカルエッチングツールによって補完されています。このアセットは、フォトマスクのイメージング精度を0.5µm以下に抑え、高解像度のクリティカルな寸法制御を提供するように設計されています。これは、イメージングモデルと窒化ガリウム/ヒ素ベースの蒸着ユニットを結合することによって達成されます。さらに、この装置は直径250mm （8インチ）までの基板に対応でき、1 mtorrから100 mtorrまでのプロセス圧力を持つ内部真空フランジを備えています。NOVELLUS L 3510は多目的でコンパクトなシステムで、ファインジオメトリμ VLSI回路、フォトニックおよびマイクロ波装置、相互接続および光学部品の製造に最適です。このコンビネーションエッチャー/アッシャーユニットは、高いスループットと優れた再現性を備えた多様な基板の精密表面処理およびエッチングおよびアッシングを提供します。その優れた信頼性と性能により、L 3510は高度なエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。