中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9387796 を販売中
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GASONICS/NOVELLUS L 3510は最先端のドライエッチング/アッシングツールです。プラズマエッチングとエッチングガスを組み合わせることで、半導体基板を精密にエッチング・アッシングします。この装置は、シリコン、III-V化合物、その他の半導体材料など、さまざまな基板の非常に細かい特徴と詳細を生成することができます。GASONICS L 3510の高度なエッチングおよびアッシング機能は、基板表面に非常に鮮明で明確に定義された特徴を作成するのに役立ちます。このシステムには、エッチングとアッシングの精度とパフォーマンスを最大化するために設計された強力な機能が多数搭載されています。NOVELLUS L 3510の主なコンテンションは、エッチング環境を正確に制御し、エッチング中のガスの圧力、温度、組成を調整し、汚染を最小限に抑え、均一性を維持するガス供給ユニットです。また、エッチングやアッシング時に使用するガスは、エッチングパラメータを特定の材料に合わせて加工する基板の種類に応じて変更することができます。L 3510にまた基質の表面から汚染物を取除くのを助ける高度の血しょう源があり、エッチングおよびashing前に完全に滑らかで、平面表面を保障します。エッチングおよびアッシング処理は真空環境下で行われ、オプションで低圧窒素（LPN）チャンバーを使用してエッチングチャンバーから有害な残留物や汚染物質を除去することができます。GASONICS/NOVELLUS L 3510は、基板表面の精製や汚染物質の除去に必要な場合に、急速熱処理（RTP）などの高度な熱処理を実行するためにも使用できます。このパッケージは高度に自動化されており、GASONICS L 3510のセットアップと操作を迅速かつ効率的に完了させることができます。また、エッチングとアッシングのプロセスを制御するための高度な制御を可能にするプログラムすることができるレシピの広い数をサポートしています。この機械は使いやすく、生産グレードの機能により、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスのための費用対効果の高いツールです。NOVELLUS L 3510は、世界中のアプリケーション専門家ネットワークによってサポートされており、最適なエッチングとアッシング性能を保証します。
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