中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9373158 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、集積回路やその他の電子部品の製造のための基板上に微細な構造を作成するために使用されるプラズマエッチング装置です。これは、反応ガスを使用してエッチングまたは反応イオンエッチング（RIE）用のプラズマを形成する方法に基づいています。このプロセスは、金属、シリコン、石英、セラミックなどの基板表面に構造を作成するために使用されます。GASONICS L 3510の主な特徴は、エッチング速度、エッチング深度、フィーチャサイズなど、エッチングのパラメータを柔軟に制御できるため、非常に細かく正確な機能をエッチングすることができます。高精度・高精度なエッチングが可能です。NOVELLUS L 3510は、1 mm未満のエッチング深度精度、50 mm × 50 mm （2 「× 2」）フィールドサイズ、および1-10 nmsのエッチング速度を備えています。さらに、ステップチューニングの燃料オプティマイザを搭載し、エッチングの時間とコストを削減します。L 3510はまた、炭化ケイ素やダイヤモンドのようなコーティングなどの高性能材料を含む、さまざまな産業用途に適した安全機能を強化しています。これらには、炉で囲まれたRFチャンバー、簡単に洗浄するための露出された内壁、および危険な粒子を捕捉するHEPAフィルタが含まれます。このユニットは、ステンレス鋼構造と遠隔操作が可能なため、産業環境に最適です。GASONICS/NOVELLUS L 3510の動作パラメータは、基板温度が最大700°C、圧力範囲が1。1〜10。0 mbarです。この機械は、塩素、フッ素、アルゴン、窒素、またはこれらの組み合わせを含むさまざまなプロセスガスもサポートしています。また、ガスコントロールペデスタルを備えており、ガス配分ツールへのアクセスを容易にし、正確なガス制御を可能にします。最後に、GASONICS L 3510は直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えており、ユーザーはエッチング処理を監視および制御することができます。アセットには、詳細なエッチングレポートとプロセスレコードを提供するデータロガーも含まれています。全体として、NOVELLUS L 3510は効率的で正確でユーザーフレンドリーなエッチャーで、さまざまな産業用途に適しています。