中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9308469 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、半導体業界における幅広いウェーハ処理アプリケーションに使用される高速エッチャーおよびアッシャーです。本装置は、大気圧の化学蒸着（APCVD）やシーケンシャルプレートのロータリーエッチング（SPRE）などの先端技術を駆使し、高速でウェーハを加工します。GASONICS L 3510は、酸化物、窒化物、ポリシリコンコーティングをシリコンウェーハに堆積させ、複雑なパターンや構造をエッチングし、ウェーハ表面から不要な材料を除去するなど、幅広い機能を備えています。NOVELLUS L 3510は、高速性能と信頼性の高い動作を提供します。システムの動作速度は1時間あたり最大50ウェーハで、最大6つの別々のチャンバーを制御することができます。また、さまざまな直径（8「〜12」）のウェーハにも対応できます。機械に自動部屋のパージおよびプロセス液体管理機能があり、きれいな仕事環境および一貫した結果を保障します。このユニットには頑丈なロボットアームとモーションコントロールマシンが装備されているため、エッチングとアッシングプロセスの迅速かつ正確なキャリブレーションが可能です。L 3510は、超紫色や電子ビームリソグラフィ、シーケンスガス導入、プラズマソース技術など、幅広い先進的なツールと技術を使用しています。このツールには、安全な作業環境を確保するために、自動ソフトウェア保護などの高度な安全機能が装備されています。さらに、ユーザーはプロセスのパラメータと生産をリアルタイムで監視することができ、プロセスの最適な制御を可能にします。GASONICS/NOVELLUS L 3510は、半導体メーカーにいくつかの利点を提供します。高度なプロセス制御機能と高速性能により、サイクルタイムと歩留まりが向上し、生産性が向上し、歩留まりが向上します。また、ガソニックL 3510には高度な安全機能を搭載し、安全な作業環境を確保しています。さらに、資産は所有コストが低く、高い信頼性を得るために設計されています。結論として、NOVELLUS L 3510は最先端のエッチャーであり、半導体産業に最適です。高速で信頼性の高いモデルは、機能と機能の広い範囲を提供し、最大6チャンバーを制御することができます。L 3510は信頼性が高く、費用対効果が高く、サイクルタイムと歩留まりが向上しているため、半導体メーカーに最適です。