中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299015 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は半導体産業の厳しい生産ニーズのために設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。Q-200高速Q-Switchを搭載し、200nm/secまでの優れた均一性と高い蒸着速度を提供します。また、最大75ミリバーのガス作動圧力を備えており、プロセスサイクルの高速化により効率的なスループットを実現します。さらに、X-Yスキャンマウントにより、最大22 ワット/cm2の広い領域を一度に露出することができます。GASONICS L 3510は、高い評価を得ているOpen-loop SenseとMatch™制御により、プロセスの安定性を提供します。これにより、ユーザーはエッチングプロセスを微調整し、レシピが最良の最終製品に最適化されるようにすることができます。このツールはまた、繰り返しの手動プロセスへのオペレータの関与を最小限に抑えるためにインテリジェントなオートメーションを備えています。また、NOVELLUS L 3510は安全性のために設計されており、汚染およびノイズ低減の最小リスクを確保するためのクラスMシールドを誇っています。さらに、室内を観察できるペリスコープビューも安全性に優れています。この資産には、プラズマ電位をリアルタイムで測定および監視するGASONICS独自のµV™モデルも装備されています。これにより、プロセスチャンバー内の過剰な電圧蓄積によるショートの可能性からプラズマ機器が安全になります。L 3510は、最高の性能と最大のスループットを確保するために、基板全体の基板アライメントと熱勾配の低減を可能にする革新的なP統合クレードルを搭載しています。これは、熱の蓄積によって損傷する可能性のある高アスペクト比フィーチャーをエッチングする際に重要な機能です。このシステムは、X軸とY軸にわたって均一なシールドを備えているほか、孤立したRF/DCコンポーネントを等温化しています。GASONICS/NOVELLUS L 3510は、半導体業界のニーズを念頭に設計された、高度で高性能なエッチャー/アッシャーユニットです。それはユーザーにプロセス制御、優秀な性能および前例のない安全の高度を与えます。ハイアスペクト比エッチングから特殊基板、プロセスまで幅広いプロセスに対応する理想的な機械です。