中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299014 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、半導体製造プロセスに使用される高度なエッチャー/アッシャーです。特に、容量連結プラズマ（CCP）エッチングサイクルを繰り返し必要とする高スループットアプリケーション向けに設計されています。GASONICS L 3510には、高性能チャンバー設計と2段ガスデリバリーが付属しており、スループットを向上させます。NOVELLUS L 3510エッチャーチャンバーは、加工時に発生する高温プラズマと低温互換性があり不活性な材料で構成されています。この材料の組み合わせにより、最高のエッチング均一性が保証され、デバイスのパフォーマンスが向上します。さらに、大容量の上部静電チャックと大型サイクリングベローズにより、効率的なプラズマ処理が可能です。2段階のガス供給システムは、2つの別々の配達管で構成されており、エッチャーはプラズマ処理中に異なるガスをチャンバーのさまざまな領域に供給することができます。これにより、プロセスをより正確に制御し、エッチングの均一性を向上させることができます。L 3510は高度なオートメーションオプションを提供しており、2つのチャンバーごとにマルチプラナーエッチング処理、マルチガス排出、独立した排水サイクルなど、いくつかのプログラム可能な機能を備えています。また、大規模なタッチスクリーンモニターを備えており、プロセスに関するリアルタイム情報とリモートコントロールインターフェイスを提供し、技術者はリモートワークステーションからプロセスパラメータを調整できます。さらに安全性を高めるために、GASONICS/NOVELLUS L 3510には、プロセスが仕様外になったときに検出できる統合プラズマ検出システムがあり、すぐにシステムをシャットダウンします。この機能により、プロセスが安全であり、ウェーハやデバイスに損傷を与えないことが保証されます。全体として、GASONICS L 3510はエッチング処理を正確に制御する高度なエッチャー/アッシャーであり、より高いスループット率とデバイス性能の向上を可能にします。ハイエッチングの均一性が重要なアプリケーションに最適で、プログラム可能な機能を備えた強化されたオートメーションを提供します。