中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299013 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、幅広い材料で複雑なパターン処理を高速で実行できる高度なエッチャー/アッシャーです。この400 mHz装置は、半導体、オプトエレクトロニクス、化学機械研磨、生物医学産業などの多処理、マルチレベルパターニング用途に特化して設計されています。GASONICS L 3510は、最先端のエッチング/アッシング技術を使用して設計および製造されており、結果の正確性と再現性を保証します。このシステムには、さまざまな高度なパラメータ最適化機能が装備されており、パラメータと解像度を正確に制御できます。また、オンボードの高解像度イメージングマシンにより、正確なパターン作成と一貫した結果を得ることができます。NOVELLUS L 3510には、4つのウェーハキャリアとインターフェイスプログラムが含まれ、ウェーハの向きと管理を正確に制御します。このツールには、基板のロードとアンロードの両方のためのソフトウェア制御カセットリフトアセットが装備されています。L 3510は、エッチングおよびアッシング処理パラメータを精密に制御するための自動シャッターモデルを備えています。また、回転ターンテーブル付きの独立したウェーハロックチャンバーを内蔵しており、外部環境にさらされないクリーンなアプリケーションとエッチングおよびアッシングメディアの除去を可能にします。GASONICS/NOVELLUS L 3510はさらに、高度なグラフィックスユーザーインターフェイス（GUI）、リアルタイムモニタリングおよび制御機能、クローズドカップリングボート、温度制御チャンバーなど、さまざまなオプションを提供します。全体として、GASONICS L 3510は強力なエッチャー/アッシャーであり、その高度な技術の範囲は、複雑で高精度なパターニングプロセスを必要とする業界にとって貴重な選択肢となります。これは、従来のエッチングおよびアッシングツールでかかる時間のほんの一部で、ユーザーに高精度で再現性のある結果を提供するように設計されています。