中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299012 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、金属、金属合金、SiO2、 TiO2、 SiNなどの材料を正確かつ効率的にエッチングするために設計されたプラズマエッチング装置です。オープンアーキテクチャのおかげで高度なプロセス制御アルゴリズムを備えた信頼性の高いRF設計を備えています。これにより、高い精度と柔軟性を必要とするプロセスを可能にします。GASONICS L 3510は、最先端のエッチングプロセス制御と計測機能を提供します。NOVELLUS L 3510は、高周波と低周波の両方の無線周波数を使用して、パターン化されたウェーハに従って表面を正確に作成または変更します。また、エッチングイオンの電子エネルギー分布を測定し、プラズマを調整して所望の結果を得るために使用される高度な微分移動度アナライザを備えています。これにより、プラズマがウエハを深すぎたり薄すぎたりしないようにすることができ、エッチングされているデバイスや基板を損傷または劣化させる可能性があります。L 3510には、In-situモードとex-situモードの両方で動作可能なチャンバーが装備されています。In-situプロセスは、プロセスチャンバを使用してデバイスを加工中に変更することができる高精度の部品の製造に通常使用されます。元現場プロセスでは、チャンバーがチャンバーから取り外されると、デバイスまたは基板に処理およびコーティングを適用するために使用されます。これにより、汚染の可能性が低減され、より迅速で正確なプロセスを提供します。GASONICS/NOVELLUS L 3510は、コンピュータ制御のソフトウェアインターフェイスを使用して、プロセスパラメータと機器のセットアップを完全に制御できます。また、モジュラー設計により、ユーザーは簡単に機能を追加してアップグレードすることができます。これにより、GASONICS L 3510は、さまざまなエッチングおよびクリーニング作業に対応できる非常に汎用性の高いエッチングシステムです。NOVELLUS L 3510には、ユニットが安全に動作していることを保証する多数の安全機能が装備されています。これには、急激な圧力上昇の際に電源を遮断する過圧保護装置が内蔵されています。さらに、このツールにはアラーム資産が装備されており、特定のプロセスの問題を検出して自動的に修正することができます。L 3510は信頼できる、良質の結果を達成するのを助けるように設計されている非常に有効で、信頼できるエッチングモデルです。高度な機能と拡張性を備えたこの機器は、信頼性の高い正確なエッチングプロセスをユーザーに提供します。