中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299011 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、さまざまなアプリケーションに高品質のエッチングソリューションを提供するように設計された先進的なエッチャー/アッシャー装置です。これは、広範囲の化学物質やガスを使用できるように特別に設計された最先端のガス/液体供給システムを備えています。単位は異なった圧力および温度で精密に制御された液体かガスの流れを提供するように形成することができます。GASONICS L 3510は、直径200mmまでの半導体ウェーハを加工できます。これには、1つのウェハカセットと複数の搬送モジュールが含まれており、ウェハをプロセスチャンバの内側から外側に移動させます。このマシンは、Ponderomotor制御プラズマソースを使用して、高い選択性で欠陥のない材料をエッチングします。このプラズマ源は、さまざまな種類の材料をエッチングするために、いくつかの異なる周波数に調整することができます。このツールには、高出力RFジェネレータ、複数の独立したゾーン温度制御、リアルタイムウェハフラット測定、高度なベクトルイオン源、統合プラズマ源など、他のいくつかの高度な機能も装備されています。また、強力なソフトウェアパッケージが付属しており、エッチングプロセス中に電力、温度、ガス、化学物質などのパラメータを簡単に監視および変更できます。優れたエッチング性能を確保するために、アセットは、緊急時の開閉機能、過圧および衝突保護、可変圧力安全弁、緊急ガスシャットオフなど、いくつかの安全機能を備えて設計されています。NOVELLUS L 3510は、誘電体、金属、ポリマーなど、さまざまな材料を素早く正確にエッチングできます。高精度のエッチング機能により、半導体デバイスの性能を最大化し、生産の歩留まりを向上させることができます。高容量・高精度な操作を実現する、信頼性の高い洗練されたエッチングソリューションです。