中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299010 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、半導体製造のためのエッチングおよびアッシング装置です。この環境に優しいシステムは、業界標準と性能要件に従って正確で高品質のリソグラフィを提供するように設計されています。GASONICS L 3510は、高度な横方向の電流エッチングとアッシング技術により、底面反射防止コーティングにより0。35 μ mの小さな特徴に最大限のエッチングのパッシベーションと均一性を提供します。オンボードキャリア管理は、正確なインオブジェクトエッチング制御を提供し、別のコンピュータコントローラの必要性を排除するフロントサイドパネルを備えています。NOVELLUS L 3510は、高アスペクト比、高選択性エッチング、ファインフィーチャートリムなどの用途に対応したモジュラーユニットです。最大1,500Wのエッチング電力、最大600Wのアッシング電力を提供し、大小のフィーチャーサイズのスループットを向上させます。また、可変増強電子源を備えているため、ワイドラインアプリケーションや高生産性プロセスに最適な性能を発揮します。さらに、L 3510には、ツールの最大限の洞察と制御のための高度な診断と、プロセス制御を強化するための高度なEnduraソフトウェアが含まれています。Enduraソフトウェアを使用すると、資産とプロセスの最適化を効率的に使用できます。また、包括的なプロセス管理と安全なデータ記録機能を備えており、汎用性と有用性の両方を備えています。GASONICS/NOVELLUS L 3510の直感的なユーザーインターフェイスと、フルカラーのチャンバーイラストを備えたリアルタイムのチャンバー診断も、その使いやすさをさらに高めています。GASONICS L 3510は、精密なリソグラフィ性能を提供する高度で信頼性の高いエッチングおよびアッシング装置です。半導体業界にとって理想的であり、将来を見据えた設計は、信頼性と効率の高いリソグラフィ性能をお探しのお客様に最適です。プラグアンドプレイのセットアップと使いやすい機能を備えたNOVELLUS L 3510は、エッチングとアッシングシステムをお探しのお客様に最適です。