中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299009 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、高度な精度、制御、およびスループットでウェーハ処理を処理するように設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。3段階のアーキテクチャを備えており、高度なエッチングとアッシング操作を可能にし、低から中程度の金型選択性を備えています。GASONICS L 3510は0。45ミクロンまでの厚さのエッチングおよび灰の沈殿に理想的です。このシステムには、エッチング/アッシング処理の正確な操作と監視のための高度な制御コンソールが装備されています。リアルタイムのプロセスデータを使用して、可能な限り最高のパフォーマンスを保証します。このタッチスクリーンコンソールはユーザーフレンドリーで、タスクのプログラミングに役立つ使いやすいインターフェースを提供します。このユニットは、広範囲にわたって精密なエッチングとアッシングを可能にする特許取得済みの4象限ガス供給機を備えています。このツールは2つのポートを使用します。1供給の低圧、1供給の高圧。流量は均一であり、方向と背景圧力の両方で均一に調整することができます。また、急速熱処理ユニットを内蔵しており、多数の材料を迅速に熱アニールすることができます。これは、異なるステップデザインを持つウェーハの処理に特に役立ちます。RTPユニットは、パルスと一定の熱モードの両方で動作し、正確な温度制御を提供します。また、NOVELLUS L 3510は、ウェーハの取り扱いとプロセス制御に優れた多段真空モデルを採用した真空機構を内蔵しています。これには、真空源、ゲートバルブ、および真空圧力を正確に制御するためのコントローラが含まれます。最後に、装置にはレーザーアシストスキャンセンサーがあり、ウェーハの正確なアライメントと動きに使用されます。これにより、1つのエッチング位置から次の位置に簡単かつ迅速にウェハを移動することができます。レーザーアシストスキャンセンサーは、エッチング角度とアッシング角度を正確に調整し、最適なエッチングとアッシング性能を実現します。