中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299008 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510エッチャー/アッシャーは、大量および高スループットのプロセスステップ用に設計された強力で高性能なツールです。高度なエッチング技術を駆使し、優れた性能と精度を実現しています。特許取得済みのガス供給システムと高効率フィルターにより、最適なプロセス条件が保証され、高度なソフトウェアと多言語サポートにより、生産環境における最大限の制御と柔軟性が保証されます。このユニットには、Air/Nitrogenパージ、真空インターフェース、およびプロセス配信用の4つのガス配信ラインからなるマルチガス配信モジュールが含まれています。また、Mix Boostの特許取得済みの希釈プロセスにより、より大きな浸漬制御、特許取得済みの自動補充アルゴリズムによるダウンタイムの削減、および汚染制御のための高度なイオンストリームも備えています。さらに、モジュール式の設計により、既存のプロセスラインに容易に統合でき、オプションのRFモジュールで超低kVアプリケーションで動作します。GASONICS L 3510エッチャーは、粒子の汚染を最小限に抑えながらガスの蒸着を監視し補正する精密ガス混合および特許取得済みのエアガス排出工具を提供します。その高度な構成ツールは、速度、選択性、向き、エッチング深さなどのプロセスパラメータをサポートし、プロセス制御とデータ収集のための計測器が提供されます。このプラットフォームはまた、反応性エッチング、ガス除去、プラズマ洗浄など、複数のクエンチガスソリューションを構成および制御することができる幅広い特殊アプリケーションにも対応しています。NOVELLUS L 3510は、既存のエッチングプロセスと互換性があり、モジュラーアーキテクチャにより、既存の生産ラインに容易に統合できます。さまざまなインターフェイスがサポートされており、オープンプラットフォームソフトウェアスイートは低オーバーヘッドオートメーションソリューションを提供し、プロセスの精度と速度をさらに向上させます。L 3510は、3年間のハードウェアおよびソフトウェア保証に裏打ちされています。これらの機能はすべて、GASONICS/NOVELLUS L 3510エッチャー/アッシャーを、高スループット、大容量の処理に最適なソリューションにします。