中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299007 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Etcher/Asherは、高解像度電子回路の高度な処理のための精密エッチングおよび成膜装置です。このシステムは、プロセスツール、マイクロファブリケーション、プラズマアッシャー、エッチャーの4つのセクションから構成されています。すべてのセクションは、自動モードでGASONICS Lインラインプロセスコントローラ（IPC）によって制御されます。プロセスツールは、プロセス期間、温度、圧力、レートなど、ユニット全体を制御するために使用されます。また、ウェーハ上のアプリケーションに応じて、2つの異なるエッチング技術を可能にします。最初の技術はウェットエッチング、2つ目はドライエッチングです。ウェットエッチング技術は、ウェーハ上の金属の堆積に採用されています。これは、高解像度、高年次性エッチング構造を生成することができるという利点を持っています。この機械の微細加工セクションは、半導体部品の形状に使用されます。特殊な「マイクロファブリケーション」プロセスを採用しており、オペレータは非常に精密な方法でウェーハのコンポーネントを形状またはエッチングすることができます。プラズマアッシャーセクションは、エッチング処理が行われる前にウェーハを「クリーニング」するために使用されます。ウェーハをプラズマにさらして有機汚染物質や金属酸化物の残留物を除去するプロセスである「プラズマアッシング」と呼ばれるプロセスを利用しています。プラズマアッシャーは、エッチング後のクリーニングも可能です。エッチャーセクションはツールの中心です。ウェーハ上に優れたサイドウォール定義を持つ高解像度の微細構造を製造することができます。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、リアクティブイオンエッチング（RIE）などのエッチング処理をサポートします。さらに、エッチャーは、高度なパターン認識機能と生産データの3次元投影を使用して、最も要求の厳しいプロセスレシピを処理するように設計されています。GASONICS L 3510 Etcher/Asherアセットは高度に構成可能で、ユーザーは特定の生産ニーズに合わせてモデルをカスタマイズできます。ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、オペレータは機器のパラメータを素早く設定および調整できます。NOVELLUS L 3510 Etcher/Asherは、精密なエッチング技術と洗練された洗浄技術を組み合わせることで、高効率で強力なエッチングと蒸着システムを実現しています。