中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9292697 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510エッチャー/アッシャーは、ユーザーが効率的かつ正確な結果を作成し、同時にエッチングとアッシャーウェハを可能にする中規模のドライプラズマ機器です。このツールは、低圧、低エネルギーエッチングプロセスを提供し、湿った化学物質、高価なプロセス手順、および有害廃棄物の必要性を排除します。また、手動および自動化された生産ラインの両方で使用するための実装と構成も簡単です。システムのエッチチャンバーは、高度に設計された弾力性のあるアルミ合金とステンレス鋼から構築され、ピーク出力を提供するために最適化された15kW RF発電機を利用しています。チャンバー圧力は真空環境で維持され、反応性プラズマエッチングを可能にし、粒子汚染のリスクを低減します。また、トップダウンまたはボトムアップエッチングプロセスも可能で、エッチングの大きさと方向を制御することができます。さらに、リニア、中電流の電源は一定の電圧を生成し、ウェーハ全体に均一なエッチングを維持し、補償パワーサイクルの必要性を排除します。GASONICS L 3510はまた、繊細な表面を保護するためにフォトマスクを自動的に持ち上げるフォトマスクリフト、生産を追跡するための遠隔監視、潜在的な問題をトラブルシューティングするための統合された機械診断など、幅広い機能を提供します。さらに、プロセスチャンバーは、ステップカバレッジ制限なしで高いスループットと大面積エッチングを可能にします。また、材料の種類や設計に関係なく、プロセスのバリエーションや均一性を最小限に抑えることができます。最後に、NOVELLUS L 3510 etcher/asherは、操作と最適化を容易にし、リアルタイムのフィードバックを提供し、将来のアップグレードとメンテナンスを可能にするユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。このツールは、マイクロエレクトロニクス、バイオMEMS、 LEDなど、さまざまな業界で使用するために設計されており、エッチングとアッシングのニーズに対応する汎用性と効率的なツールです。