中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9271641 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510アッシャーは、高度なIC製造プロセスで使用される高度なプラズマベースのエッチャーです。この高度なエッチャーは、シリコン、金属、誘電体など、さまざまな材料層をエッチングすることができます。FlexEtch Advanced Etcherは、超低温プラズマを提供することにより、非常に高いレートで精密エッチングを提供します。GASONICS L 3510 asherを使用すると、ユーザーはエッチング機能だけでなく、高度なプロセス制御、監視、分析ツールも利用できます。NOVELLUS L 3510アッシャーは、ロボット基板ノズルと高温加圧酸素プラズマ源で構成され、エッチング工程を最適なエッチング速度でエッチングすることができます。高度なプロセス制御により、エッチングの均一性を維持し、シャドーイングを排除し、ポストプロセスの洗浄と乾燥の必要性を低減するシフト補償を提供します。その高度なワークステーションには、さまざまなプロセスパラメータに再構成できる適応可能なコントローラが装備されており、高度なプロセスモニタリングとプロセス最適化機能をホストしています。また、ユーザーがその場でエッチング処理を監視できる高度なビジュアライゼーション装置も含まれています。L 3510 asherはまた、統合された材料データベース、高度なプロセスデータベース、レシピ管理システムを備えています。データベースには重要なエッチングメトリクスとレシピが搭載されており、ユーザーは処理レシピを選択して分析できるため、デバイスの特性評価とパイロット生産結果を最適化できます。さらに、データベースには、将来のプロセスやアプリケーションのためにデータベースを簡単にアップグレードできるオンボードデータベースアップデータが付属しています。GASONICS/NOVELLUS L 3510アッシャーは、安全性を考慮して設計されており、インターロックユニット、リモートエミッションコントロール、オフプロセス監視、自動パージシーケンスなどの標準的な安全機能を提供します。保護装置には、真空チャンバークリーンアップセンサー、エミッションモニター、緊急停止制御も含まれています。さらに、安全な操作と下流の環境コンプライアンスを維持するための高度なソフトウェアとツールアーキテクチャを備えています。GASONICS L 3510 asherは、コスト効果、信頼性の高いプロセスソリューションであり、半導体業界で際立っており、最適な製品歩留まりと品質を備えた包括的なエッチングソリューションを提供します。