中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9270101 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、MEMS、半導体、太陽光発電アプリケーション向けの高度な多目的エッチャー/アッシャーです。1システムにつき最大28個のウェーハ、200mmおよび150mmのウェーハサイズを含む1カセットにつき最大35個のウェーハを処理することができます。GASONICS L 3510は、多くのウェーハが同時にエッチングされ、アッシュされる、優れた並列処理能力の恩恵を受けています。また、インテリジェントパルスプロセスと選択的エッチング技術を使用して、高分解能の3D構造を生成します。NOVELLUS L 3510は、99％以上のアップタイムと、高精度の速度と加速アルゴリズムによって達成される優れたウェットプロセス性能を提供します。さらに、すべてのプロセスを詳細に監視、分析、報告することができ、すべてのパラメーターを正確に調整して目的の結果を得ることができます。L 3510は改善された冷却機能およびCL2、 O2、 SF6、 Ar、 Heおよびガスの組合せのような高出力および低電力の源と処理する機能を提供するように設計されています。それは裏側の酸化物、酸化物の取り外し、trenching、深い反応性イオンエッチング、乾燥したエッチングおよび深さ制御のエッチングを含むすべてのタイプのエッチングおよびashing適用のための本当に多目的な選択を、提供します。GASONICS/NOVELLUS L 3510のプログラマブルなエンドツーエンドのプロセス機能により、さまざまなパラメータを設定および調整でき、正確な処理に柔軟性を提供します。その電源は、シリカ、シリコン、タングステン、および様々な金属を含む様々な材料のエッチングとアッシングに使用することができます。GASONICS L 3510は170mmから300mmのサイズまで及ぶウェーハを扱うことができます。その高度なキャビティと耐久性のあるプラズマプロセスは、プログラム可能なRFジェネレータとともに、この多目的システムを多くのエッチングおよびアッシング用途に最適です。機械加工プロセスは、時間の経過とともに一貫した正確さを維持し、内部スペースはメンテナンスプロセスを改善するように設計されています。NOVELLUS L 3510は、GASONICSの革新的なソフトウェアツールボックスを使用しています。これは、高性能のリアルタイム制御を提供し、I/O監視によるプロセスの完全な可視性を提供します。ソフトウェアツールボックスを使用すると、複数のプロセスに設定することでプロセスパラメータを簡単にカスタマイズでき、効率的な生産と品質基準の改善が可能になります。全体的に、L 3510は、さまざまなエッチングおよびアッシング用途向けの革新的で強力な多目的デバイスです。その高度な機能と高精度の速度と加速アルゴリズムにより、エッチングとアッシングのニーズに迅速かつ信頼性の高い選択肢となります。頑丈で耐久性のあるデザインのGASONICS/NOVELLUS L 3510は、さまざまな業界や用途に最適です。