中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9259241 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、浅いトレンチ絶縁（STI）アプリケーション用に設計された高性能の化学蒸着（CVD）エッチャー/アッシャーです。サブクォーターミクロン寸法での成膜均一性が向上し、高いエッチング速度と低い欠陥の両方を提供します。GASONICS L 3510は、半導体ウェーハ加工用の回転チャックを備えたシングルチャンバー工具で、先進的な超高真空（UHV）チャンバー設計を備えています。NOVELLUS L 3510には、可変周波数RFソース、2つの独立したプラズマジェット、構成可能なマルチプローブローディングシステム（MPLS）、および空間位置制御と正確な微調整のための高速内部レーザー干渉計が装備されています。L 3510の高度に自動化されたコントローラは、正確なガス流量と温度制御を提供し、ウェーハの効率的な処理を保証する包括的なプロセス診断機能を提供します。GASONICS/NOVELLUS L 3510は、基板にプロセスガスを正確に供給する機能を備えており、精度と位置制御が向上し、より低い圧力および温度範囲で動作することができます。このチャンバ設計により、最大200mmウェハの処理が可能となり、大面積デバイスの基板表面全体にわたって500のアングストロムバリエーションと0。25nmの均一性が得られます。GASONICS L 3510は、最高のエッチング選択性とパフォーマンス向上を提供するいくつかの機能を提供します。パラレルバックサイドストリップソース、改良されたボトムストリップソース、改良された衛星ソースを備えています。これにより、再現性が向上し、スループットが向上します。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えた洗練されたサイクルコンピュータは、レシピ作成と管理の究極の利便性とサポートを提供します。全体的に、NOVELLUS L 3510は、高いレベルの性能と精度を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。スループットが非常に高く、欠陥が少ない基板にフィルムを堆積させることができ、STIベースのアプリケーションに最適です。最高の収率と最高のフィルム品質を維持しながら、精度とスループットを向上させる効果的な方法です。