中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9244581 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510エッチャー/アッシャーは、先端技術メーカーのエッチング/アッシングのニーズを満たすように設計された高性能で費用対効果の高いツールです。GASONICS SystemsとNOVELLUSと提携して開発された3510は、高度なエッチングとアッシング技術を単一のプラットフォームで組み合わせており、最先端かつ高度な半導体デバイスでも高いスループットと信頼性の高い処理が可能です。3510には、精密で均一なエッチングを提供する高度なRFエッチング技術が組み込まれています。エッチング・バイアスのステッピングモータ調整により、精度と再現性が0。5ナノメートル以下のエッチングが可能になります。さらに、3510は50〜300 mmのサイズのウェーハを処理でき、最大12。7インチまたは320 mmのプロセス機能を提供します。3510はまた、半導体表面からのプロセス残留物を排除し、危険な化学薬品の必要性を排除するアッシングプロセスを提供します。このユニットは、深さ、ターゲットを絞ったエッチングとアッシングのために熱的に強化されたプラズマプロセスを採用しています。このプロセスは、直感的なGUIインターフェースを使用して簡単に制御され、簡単なセットアップとランタイムメソッド計算を提供します。また、有害化学物質のガス制御と均一な配送を実現する先進的なガス配送システムと、独自の添加剤を自動的に組み込むことができるケミカルインジェクタを搭載しています。さらに、3510には、構成可能なガス分布マニホールドと信頼性の高いポンピングシステムを備えた一般的な真空システムが付属しています。GASONICS L 3510エッチャー/アッシャーは、ユーザーフレンドリーな制御で高度に自動化されており、エッチングおよびアッシング操作に最適なツールです。このユニットは、シングルチャンバー構成と3チャンバ構成の両方で提供され、幅広いオプションと構成が付属しているため、さまざまな半導体製造アプリケーションに適しています。革新的な設計、優れた性能、信頼性を備えた3510は、高度な半導体製造に最適なツールです。