中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9144778 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Asherは、中高スループット生産アプリケーション向けに設計されたハイエンドの自動エッチングおよびアッシャー半導体製造装置です。このシステムは、半導体基板の高密度回路特性においてフォトレジストやその他のドライフィルム層をパターン化するように設計されています。0。20 µmまでのエッチングが可能で、高精度で均一なエッチングが可能です。このユニットには、モジュラー設計の2つのプロセスチャンバーが含まれており、最高のプレナムと温度の均一性を可能にします。最先端のプラズマ点火で武装し、チャンバーは特定の顧客のニーズに合わせて調整することができます。特殊エッチングガスは、MGS （Mixed-Gas Source）マシンで導入することができ、超微細エッチングによるマルチステッププロセスが可能です。温度制御は25から400°Cの範囲の精密制御のプロセス部屋で達成されます。このツールには高速転送アセットが付属しており、GASONICS独自の「フレキシブル処理モジュール」と統合されているため、ユーザーはアプリケーションに最適なプロセスを選択できます。また、電動基板ハンドラを内蔵しており、基板の積み降ろしが容易です。GASONICS L 3510は、生産性を最大限に高め、汚染から基板を保護するために、繊細な材料を保護するためのオプションの不活性ガス統合を備えた洗練された自動基板ハンドリングモデルを備えています。この装置には、自動欠陥検出、エンドポイント検出、プロセスパラメータ監視、プロセス最適化機能など、さまざまなプロセス制御機能が搭載されています。また、効率的なプロセスの安定性と品質管理のための診断機能を内蔵しています。このシステムは、最大12インチの幅広いウェーハサイズに対応しています。また、1バッチにつき最大20個の基板をサポートし、効率的な生産スループットを実現します。全体的に、NOVELLUS L 3510は、優れた均一性とスループットを備えたファインリゾリューションのエッチング機能を生成できる高性能エッチャーおよびアッシャーです。モジュラー設計と高度なプロセス制御機能により、中〜高スループットの生産アプリケーションに最適です。