中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293658983 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、高度な半導体デバイスの製造に適した高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、独立した化学制御を備えたプラズマエッチングとアッシングチャンバーを備えています。さらに、プロセス制御とスループットを向上させるために自動化することができます。このユニットの化学制御は、GASONICS特許取得済みのプラズマ強化直流（DC）化学制御機によって駆動されます。このツールは、エッチングとアッシングのプロセスを正確に制御しながら、変動を最小限に抑え、歩留まりを改善します。また、エッチングアルミニウム、スズ、銅などの幅広いプロセスでエッチング化学を選択することができます。GASONICS L 3510は基質の予備加熱モジュールおよびアトマイザーおよび血しょうasherのようなさまざまな部屋と形成することができます。ベースユニットは、リモートプラズマ操作用に設計されたフロントドアも備えています。このアセットには、自動ウェハジャム防止モジュールとオプションのロードロック（別売）を含む自動ウェハハンドリングコンポーネントも含まれています。このモデルは、アルミニウム、銅、スズ、タングステン、ポリイミド、セラミックス、窒化ケイ素、有機物など、幅広いエッチングおよびアッシングプロセスをサポートしています。1時間あたり200ウェハまでの高速処理は、大量生産の要件に最適です。さらに、この機器は、高度なろ過などの環境および安全機能の範囲を提供し、自動火災や過圧シャットダウン、安全で生産的な動作を確保するのに役立ちます。結論として、NOVELLUS L3510エッチャー/アッシャーは、高度な半導体デバイスの製造に最適な強力で信頼性の高いシステムです。精密な化学制御と高いスループット、およびプロセス環境を安全かつ再現可能にするために設計されたさまざまな機能を提供します。