中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293595737 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510エッチャー/アッシャーは、高いプロセス制御と生産性を備えた高度なハイスループットドライエッチング装置です。このシステムは、シリコン、窒化物、金属、有機材料など、幅広い用途向けに設計されています。GASONICS L 3510ユニットの信頼性は、GASONICSとNOVELLUSの包括的な経験と技術に基づいています。NOVELLUS L 3510エッチャー/アッシャーは、誘導結合プラズマ（ICP）源とエキシマー（深紫外線）レーザーを含む実証済みのエッチング技術に依存し、基板のエッチングとクリーニングを行います。異なった材料をエッチングするのに十分な柔軟性を提供するプロセス部屋があり、超高真空環境を作成する作り付けの真空機械があります。エッチャー/アッシャーは、シリコンや窒化物などの材料の薄膜を高スループットでエッチングすることができます。in-situ capacitance-voltage （CV）モニタは、均一なエッチングを保証するリアルタイムのプロセス制御を可能にします。さらに、プラットフォームの高度な温度制御およびガス分布ツールは、正確な温度とガス分布を可能にします。L 3510エッチャー/アッシャーは、一連のソフトウェアによってサポートされており、ユーザーはレシピを迅速に選択して最適化することができ、ユーザーエクスペリエンスが向上します。ユーザーは、アプリケーションの要件に応じてレシピを作成し、パラメータを変更することができます。GUI （Graphical User Interface）インターフェイスはユーザーフレンドリーで、直感的な操作が可能です。GASONICS/NOVELLUS L 3510エッチャー/アッシャーは、エレクトロニクス、フォトニクス、半導体産業におけるさまざまな用途に適した優れたプラットフォームです。プロセスの高精度と再現性を提供するPLC制御を備えており、誘電体コンスタントモニタ（DFM）および真空モニタ（VTM）システムは、優れたプロセス制御および監視機能を提供します。この資産は、熱的に成長した酸化物の除去や金属の浅いエッチングなど、さまざまなウェーハ洗浄およびエッチング用途に適しています。また、エッチング時の汚染が少なく、アルミニウムや銀などの繊細な素材にも適しています。そのモジュラー設計のおかげで、機器は簡単にアップグレードし、顧客の変化するニーズを満たすために変更することができます。