中古 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293586002 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3510は、高精度のAdvanced Omnidirectional and Selective Inductively Coupled Plasma （ICP）エッチャーまたはアッシャーです。様々な素材で作られた基板の選択的・全方向エッチングで優れた性能を発揮するように特別に設計された大面積ドライエッチング工具です。また、シリコン、アンチモン酸ガリウム、リン酸インジウムなどの幅広い材料やフィルムの加工にも使用されています。GASONICS L 3510は、クラスで最も速いエッチャーの1つと考えられています。無線周波数（RF）発生器を介して発生する誘導結合プラズマを利用します。これにより、ウェーハ全体を効率的かつ均一にエッチングできます。このツールは、ウエハ基板の表面全体にエッチングガスを均等に分散させるユニークなガスミストキャリングフードを備えています。さらに、NOVELLUS L 3510は、イオンビームとアルゴンベースのプラズマをウェハ表面に同時に誘導するハイブリッドイオンサブアセンブリを採用し、柔軟性の高いエッチングを実現しています。L 3510には、高度なプロセスとコンピューティングシステムが装備されており、リアルタイムでエッチングプロセスを監視および制御できます。メインコントロールパネルは、フロントエンドユーザーインターフェイスとバックエンドシステムの両方を備えています。フロントエンドのユーザーインターフェイスは、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）技術を使用して、さまざまなプロセスパラメータを表示し、ユーザーが設定を調整できるようにします。バックエンドシステムは、重要なプロセスデータを繰り返し測定して記録し、レシピを最適化し、再現性の高い一貫したエッチングプロセスを保証します。GASONICS/NOVELLUS L 3510は、複数のICPソースと、ウェーハ処理のための内蔵ウェーハカセットローディングシステムを備えています。さらに、このツールは、インライン生産アプリケーション用に自動化することができます。独立したデータコンセントレータは、すべてのプロセスデータをホストコンピュータに転送してリモート監視と操作を行うことができます。これにより、プロセス制御と柔軟性が向上し、操作効率が向上します。GASONICS L 3510は、ウェハレベルのパターニングと選択的エッチング機能を備えた汎用性の高い高度なエッチャーおよびアッシャーです。優れたパフォーマンスを提供するように設計されたこのツールは、ユーザーが高いエッチングの均一性と非常に小さい機能サイズを達成することができます。そのため、半導体、太陽電池、フラットパネルディスプレイ業界での製造に最適なツールです。