中古 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235159 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3500は、高度なエッチャー/アッシャーであり、高スループット、迅速な沈着、および精密な原子層の堆積のために設計されています。高スループットで3〜5ナノメートルの精度を実現できます。このシステムには、真空ベースのプロセスチャンバー、高出力RFプラズマ源、およびその場でのウェーハ検査装置が装備されています。真空ベースのプロセスチャンバーは、基板を処理するための超高真空環境を提供します。プロセスの大気を精密に制御することができるガス分配システムを備えており、さまざまな材料をエッチングまたは灰にすることができます。プロセスチャンバーには、10-6 Torrの真空レベルを維持するためのアクティブポンプも含まれています。RFプラズマ源は、電力レベルの範囲で非常に高い発電プラズマを生成することができます。これにより、金属から誘電体まで、幅広い材料をエッチングまたは灰にすることができます。このシステムには、プラズマの電力と周波数の両方の精密制御も含まれており、オペレータはプロセスを所望のアプリケーションに合わせることができます。現場でのウェーハ検査装置により、エッチングまたはアッシュ加工された表面をリアルタイムで検査できます。これにより、異なるサイズと材料の基板に対して一貫した結果が得られます。温度、圧力、GASONICS L 3500などのパラメータを測定するさまざまなセンサーを搭載しており、レシピやパラメータの操作と管理のためのソフトウェアも含まれています。全体として、NOVELLUS L3500は強力で正確で高スループットエッチャー/アッシャーであり、様々な成膜およびエッチング処理に最適です。信頼性が高く、操作が容易で、高精度でスループットのあるさまざまな材料を処理するように設計されています。