中古 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235158 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3500は、化学機械平坦化（CMP）プロセス用に設計されたハイエンドエッチング/灰の装置です。それは使いやすいシステムの高性能、合理化されたオペレータ制御そして優秀なプロセス均一性を提供します。このユニットは、長時間の動作にわたって最高の再現性と信頼性を提供し、幅広いウェットおよびドライエッチング/アッシング用途に最適なプロセス制御を提供します。GASONICS L 3500には、ツーリングロボットの位置決めに精密で反復可能な動きを提供する2軸ロボットアームが装備されています。アームは、プラットフォーム上のツールの整列に使用することができます。また、GASONICSマイクロプロセッサベースのリアルタイム適応制御を使用して、最高のエッチング/アッシング性能を保証します。高性能ロボットアームコントローラと組み合わせることで、1台のロボットまたは複数のロボットをあらゆる角度で正確に配置し、最大10秒間（SPS）の撮影速度を実現します。ウェーハサーフェス全体で均一なプロセス条件を確保するために、このツールはマルチゾーンビューポートのデスメアセットを使用して、ビュー内の各ゾーンのプロセス条件を特定に調整し、プロセスの最適化とアライメントを可能にします。さらに、ウェーハエッチング間のプラットフォームをリセットすることで、自動的にエッチング/灰の均一性を維持する自動脱水機能を搭載しています。これにより、各エッチングのエラーが低減され、ウェーハ全体で一貫したエッチプロファイルが得られます。NOVELLUS L3500は、一貫したパフォーマンスと高いプロセス歩留まりのためにも設計されています。この装置は、マルチゾーン制御、ウェーハレベルおよびプロセスレベルのパラメータ、およびリアルタイムアラーム監視を組み合わせています。さらに、このシステムは、高いスループット、高精度のアライメント、再現性を可能にするツールのためのロボット統合ビジョンを提供します。全体として、NOVELLUS L 3500は、CMPプロセス用の高度で信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーです。高精度で再現性に優れ、高い歩留まりエッチング/アッシングを実現します。このユニットは非常に構成可能で汎用性が高く、幅広いプロセスやアプリケーションに合わせて調整することができます。高度な機能と機能を備えたこのマシンは、最も困難なCMPアプリケーションに最適です。