中古 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9227632 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3500は、半導体製造業界で使用される最先端のエッチャー/アッシャーです。精密リソグラフィ、プラズマクリーニング、ハードマスクエッチングの最新の進歩を組み合わせ、最高レベルの歩留まりとスループットを提供します。GASONICS L 3500には2つのエッチングチャンバーと2つのプラズマシステムがあり、最大2つのウェーハを同時に処理できます。また、真空シール可能なカバーを備えており、銅エッチングオフスタートなどのエッチングプロセスの副産物を収集することができます。NOVELLUS L3500は、エッチングの前に材料表面をきれいにするために集中された、高密度、マイクロ秒の持続時間プラズマパルスを使用するGASONICS特許取得のパルスプラズマ技術を組み込みます。このプロセスは、エッチングが始まる前に不純物や欠陥を取り除き、非常にクリーンで欠陥のない最終製品を保証します。また、L 3500は、プラズマ化学を調整するためのオーダーメイドの中間ガス流量システムを備えており、幅広いフィルムを処理することができます。GASONICS L3500は、金属、ポリマー、誘電体、さらにはケイ化物をエッチングすることができます。NOVELLUS L 3500には、NOVELLUS特許取得済みのPFZソフトウェアが搭載されており、ユーザーはエッチングプロセスを正確かつ制御してプログラムし、監視することができます。また、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、エッチングパラメータを素早く簡単に設定し、進捗状況を監視できます。L3500は優秀な最終製品品質を提供します。その高度なチャンバー設計により、エッチターゲットが処理中に汚染から解放され、欠陥率が非常に低くなります。これにより、半導体業界で最も厳しい品質要件を満たすことができます。さらに、GASONICS/NOVELLUS L3500は高度なエッチング均一性コントロールを備えており、エッチングされたすべての材料が指定された寸法内に残ることを保証します。GASONICS/NOVELLUS L 3500は、半導体製造業向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。パルスプラズマ洗浄、調節可能なプラズマ化学、および最終製品の制御と精度のためのユーザーフレンドリーなPFZソフトウェアの組み合わせを提供しています。高度な設計により、GASONICS L 3500は非常に信頼性が高く、高精度で欠陥のない最終製品を生み出します。