中古 GASONICS / NOVELLUS L 3300 #9243661 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3300は、基板の非常に高品質で正確な機能を生成するように設計された完全に自動化されたエッチャーです。このエッチャーは、幅広い材料を素早くエッチングできる高圧高密度プラズマ環境を提供します。統合されたエンドポイント検出装置は、超精密なエッチプロファイルを保証し、歩留まりと生産性を向上させます。このユニットの高度な制御と自動化は、再現性のあるプロセス結果を保証するのに役立ちます。これは、タイトなプロセス制御、インライン診断、自動レシピ管理、および幅広いプラズマレシピなどのさまざまな機能によって達成されます。また、基板加熱・冷却用の高効率熱源を提供します。加熱には、その場の石英ランプを使用してエッチング中に一定の温度を維持し、熱をターゲット基板に均等に分散させます。GASONICS L 3300は、Pulsed Plasma Power Source （PPPS）を使用して、異なる種類と厚さの材料に合わせた正確で均一なプラズマを生成します。PPPSと基板のインターフェースは、歩留まりとスループットを最大化するように設計されています。PPPSは、プロセス制御を最適化するための調整可能なパルス幅波形と自己適応型プラズマ波形を提供します。In-situガスはまた、最適なプロセスの再現性を確保するためにチャンバー内で管理されています。具体的には、エッチャーは、酸素、Ar/CF4/CHF3、 SiCl4、およびSF6化学物質の動的流量制御を提供しています。プロセスは、プロセスの均一性を向上させるために、高さ調節可能なアーク銅シャワーヘッドと光ファイバシャワーヘッドを備えた真空タイトチャンバーを介して制御されます。NOVELLUS L 3300は、8インチ（203 mm）までの基板加工が可能です。これにより、基板を短時間で処理し、追加のパスやステップを必要としないため、迅速な納期が可能になります。エッチャーは使いやすく、簡単なレシピ生成、ユニット操作、プロセス監視のためのユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。このマシンはまた、プロセスの再現性を確保するのに役立つ統合診断ツールを備えています。全体として、L 3300は高品質で信頼性の高いエッチング資産であり、正確で正確なエッチング機能を提供するように設計されています。高圧、高密度プラズマ、高効率加熱/冷却機能を備え、さまざまな業界に最適です。その柔軟性と使いやすい機能により、基板を迅速かつ確実にエッチングする必要がある人に最適です。