中古 GASONICS / NOVELLUS L 3200 #9083205 を販売中

GASONICS/NOVELLUS L 3200は、高精度で信頼性の高い半導体ウェーハのエッチングおよびアッシャーです。この装置は、p型およびn型の半導体材料の両方でエッチングおよびアッシングが可能です。これは、ウェーハ上の複雑な機能の正確で高品質のエッチングとアッシングを迅速かつ正確に可能にするインターフェイスツール、センサー、および技術のスイートを備えています。GASONICS L 3200またはL 3000シリーズは、ウェーハクランプ用の高効率で信頼性の高い静電チャックを備えています。このシステムは、電極アレイを使用して最大13ポイントの電気接触を提供し、複雑なウェーハ機能のエッチングとアッシングを改善します。0。1 μ mから10 μ mの範囲の正確なエッチングと灰の特徴サイズが可能です。このユニットには、エッチングおよびアッシング処理用のガス供給機が装備されています。プロセスガスの効率的な加圧と、エッチングやアッシング時のガスの流れを制御する高度なソフトウェアを備えています。このツールは、小さなデバイスやコンポーネントをエッチングしてアッシュするのに非常に役立ちます。エッチングおよびアッシング処理は、NOVELLUS L 3200でいくつかの異なる方法で行われます。金属や誘電体などのエッチングやアッシング層に化学蒸着（CVD）を利用することができます。このアセットは、プラズマエッチング/アッシングを利用して、ウェーハ上でエッチングおよびアッシングされるフィーチャーサイズの表面品質と精度を向上させることもできます。L 3200は、半導体ウェーハを素早く、正確に、そして確実にエッチングし、アッシュするための強力なツールです。このモデルの先進的な電源供給装置、電極アレイ、ガス供給システムはすべて協力して、複雑な機能の正確なエッチングとアッシングを保証します。このユニットは、0。1 μ mから10 μ mまでの機能サイズを提供し、p型およびn型の半導体材料の両方でエッチングと灰の柔軟性を提供します。多様な機能を備えたGASONICS/NOVELLUS L 3200は、製造プラントにとって貴重なツールです。