中古 GASONICS / NOVELLUS Iridia #293659761 を販売中
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販売された
ID: 293659761
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2005
Asher, 8"
Dual chamber
Gas supply:
Left and right chamber gas box:
Gas name / Range / Connection size
CF4 / 200 SCCM / 1/4" VAC Male
N2 / 500 SCCM / 1/4" VAC Male
O2 / 500 SCCM / 1/4" VAC Male
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC Male
NF3 / 20 cc / 1/4" VAC Male
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC Male
Purge N2 / - / 1/4" VAC Male
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAWA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Left and right PCM
(2) 95-3798 MISC Controllers
(2) 02-168304-00 Gas controllers
(2) 95-3154 M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHERM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves
Chambers:
(4) PCW QC6 Connectors
(2) VAC ISO 80
(2) CDA 3/8" SWG Male
Missing parts:
YASKAWA XU-RCM 4700 Robot
(2) ASTEX D13765 M/W Generators
Power supply:
208 V, 50/60 Hz, 150 A, 3 Phase, 5 Wires
2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUSイリディアは、半導体製造業界で使用される高度なエッチングおよびアッシング装置です。半導体チップの製造に使用されるフォトレジスト、金属、その他の材料の高精度処理を提供する完全自動化システムです。このユニットは、マルチモードプラズマエッチングとCVDプロセスのための業界最新の技術を組み込み、複雑なパターンの高速処理とチップ開発のすべてのレベルでより厳しい寸法公差を可能にします。GASONICS Iridiaマシンは、半導体チップの収率を最大化し、スループットを向上させるのに役立つ多くの革新を備えています。シングルソースエッチング/アッシュプロセスを使用し、1台のマシンにキーエッチングと蒸着プロセスを組み込み、多段階処理に必要なコストのかかるセットアップ変更を削減します。また、ダイレクトサンプリングIn-Situ診断ツールとリアルタイムデジタルフィードバックにより、最大のプロセス制御と改善されたツールアップタイム、および自動ロードチャンバーバランス機能、およびより細かい機能制御のためのウェーハの均一性を備えています。NOVELLUS Iridiaアセットは、機能の解像度と選択性を最適化するための複数のエッチング構成を提供します。自動化されたシステムにより、デバイス構造を精製するためのプロセスの最適化とランプアップ時間の短縮が可能になり、オプションのロードロックモデルにより、プロセスの安定性とスループットを向上させるための基板の迅速な導入と除去が可能になります。また、基板構成とローディングのカスタマイズも可能で、生産の柔軟性を最大限に高め、個々のニーズに合わせてシステムをカスタマイズすることができます。イリディアは、最適な安定性、スループット、汎用性を目指して設計されており、半導体メーカーに薄膜技術の境界を押し上げる力を与えています。このユニットは、最も要求の厳しい半導体環境で複雑な3次元構造とサブミクロン形状の処理を可能にする機能を提供します。これらはすべて、歩留まりの向上とプロセスの安定性の向上に役立ち、より短期間で高品質のチップを生産することができます。
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