中古 GASONICS / NOVELLUS Aura #9238515 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Auraは、半導体製造業界で一般的に使用されるエッチャー/アッシャーです。0。15ミクロン（150ナノメートル）という小型の特徴を持つ部品の加工が可能です。卓越した画質、信頼性、生産性を提供し、精密なマイクロパターンによる洗練された製品の生産に最適です。GASONICSオーラシステムの基本ユニットはPECVDプロセッサと呼ばれ、最大2つのチャンバーを装着できます。各チャンバー内で、コンポーネントはガス充填真空容器を通過し、反応性ガスと高いRF源の混合物を供給します。RFソースは、基板とその特徴を劣化させることなく、エッチング（または非シリコン材料のアッシュ）に必要なプラズマを生成します。各チャンバーには、エッチング処理チャンバを介してウェーハをロードおよびアンロードする可動ステージが装備されています。NOVELLUS Auraシステムは、高度な設計自動化と高度なアルゴリズム制御を備えており、信頼性と再現性の高いプロセスを保証します。このシステムは、エッチング時間とガスの流れを調整し、パワーレベルをランプする機能を備えており、配信されるエッチレート、均一性、およびその他のパラメータの高い精度とより良い制御を提供します。Auraは高いスループットと高い歩留まりのために設計されており、最も厳しい生産環境に最適です。ウェーハおよびバッチ間でのエッチングの均一性により、ICデバイスの製造、MEMS、高度な半導体パッケージなど、幅広い用途に最適です。GASONICS/NOVELLUS Auraは、最も過酷な仕事に精密で再現性のあるエッチングを必要とする人に理想的なソリューションです。その洗練された設計自動化とアルゴリズム制御は、究極のパフォーマンスと信頼性を提供します。GASONICS Auraでは、再現可能な性能と優れたコスト/パフォーマンス比を備えた高品質の部品をお客様に確実にお届けします。