中古 GASONICS / NOVELLUS Aura #293824587 を販売中
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GASONICS/NOVELLUS AURAは、中規模から大量の集積回路生産用に設計された高度なエッチングおよびアッシャー装置です。これは、複数のプロセス技術を組み合わせた特許取得済みのデュアルレクトロードプロセスを使用して、幅広い材料、形状、特徴サイズに優れた結果を提供します。GASONICS Auraは、高解像度で誘電層と金属層の両方を処理することができ、最小限のプロセスチャンバーとハードウェアが必要です。低密度プラズマと高密度プラズマの革新的な組み合わせを使用して、欠陥レベルの低い高品質と費用対効果の高い結果を生み出します。NOVELLUS Auraは、高品質の結果を可能にするさまざまな機能を提供しています。これらの機能には、優れたプロセス制御、最適な電気性能のための低電圧動作、および迅速なトラブルシューティングのためのツール診断が含まれます。このシステムには、ユーザーがアプリケーションの特定のニーズを満たすためにエッチングとアッシングプロセスをカスタマイズできるようにする高度なプロセスパラメータも多数用意されています。これには、エッチング速度、電力密度、画面サイズ、および最適な結果を得るために複数のプロセスレシピを利用する機能が含まれます。さらに、このユニットには最適化されたプログラム保存機能とカスタムマクロプログラミング機能が組み込まれており、ユーザーは必要に応じてレシピをカスタマイズできます。Auraは、精密で正確なフィーチャーサイズを作成することができますが、幅広い材料、形状、フィーチャーサイズを処理することができます。これにより、柔軟性が向上し、さまざまなアプリケーションの結果が向上します。このマシンは、プロセスと機器のステータス表示、自動記録管理、高度な機械制御を備えたタッチスクリーン技術を使用して、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。これにより、ツールのセットアップと操作がはるかに簡単になり、効率が向上します。GASONICS/NOVELLUS Auraは、後処理システム、マスキングシステム、計測ツールなどの他の多くの製品と互換性があり、複数の加工ツールを所有することに伴うコストを削減します。さらに、同社は経験豊富なカスタマーサービスと技術チームから継続的なメンテナンス、トレーニングプログラム、サポートを提供しています。
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