中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #9111883 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010は、半導体ウェーハ処理用に設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。先進的な真空、チャンバー、プロセス材料の独自の遊びと、現場での表面洗浄への独自のアプローチを利用して、複数のエッチング/灰スタックを介して到達する柔軟で効率的な反応機能を提供します。さらに、プロセスレシピの正確な実行を保証し、チャンバーの存在、温度勾配、露光時間を監視することができる光学、音響、およびサーマルセンサーの統合された範囲が付属しています。その結果、非常に強力なエッチャー/アッシャーで、幅広いプロセスレシピと幅広いプロセス時間を提供します。GASONICS Aura 3010は、ウエハ処理のためのクリーンで制御された環境を提供する超高真空チャンバーを備えています。最先端の真空技術と先端材料を組み合わせて開発されたこの高度なチャンバーは、低温、低汚染エッチング/灰の環境を提供します。さらに、シングルウェーハプロセスのロードロック構造により、チャンバを周囲から完全に隔離し、汚染を低減し、一貫した高品質の処理結果を保証します。NOVELLUS Aura 3010には、etch/ash fluxerなどの高度なプロセスツールと、効率的なウェーハの均一性を提供するパドルフリー、パージフリー、超高信頼性、熱勾配制御を備えています。また、高度な光学システムはスパッタレートを低減し、エッチングの均一性を最大化するように設計されています。さらに、そのコントローラは、オペレータの露出時間を最小限に抑えるために、その場でのクリーニングとウェーハのローディングを自動的に制御することができます。最後に、Aura 3010は、シングルステップエッチング、デュアルステップエッチング、ポストエッチング、コンビネーションエッチング、ポストエッチング/灰、ラピッドパスエッチング、パッシベーションエッチング、ギャップフィリングなど、幅広いエッチング/アッシュプロセスレシピが可能です。これにより、さまざまなウエハサイズ、材料、厚さを処理できます。また、半導体業界の絶えず変化する要求に対応するため、プロセス時間の総範囲も微調整されています。その結果、超短処理時間、スループットの向上、欠陥の減少、および優れた歩留まりを提供することができます。