中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293752958 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010はエッチャー/アッシャーで、基板から材料を選択的にエッチングまたは除去するために使用される機械の一種です。具体的には、シリコンウェーハ、金属、一部のポリマーなどの材料を物理的にエッチングするように設計されています。これは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）と呼ばれるプロセスによって行われます。このプロセスでは、除去する物質の原子に「プラズマ」と呼ばれるエネルギー粒子が衝突し、熱によってガス状態に変換されます。このガスは、他の反応性化学物質と共に基板と反応し、この相互作用によって材料がエッチングされます。この機械は非常に精密で、0。1ミクロンから5ミクロンまでのサイズの間のあらゆる材料で働くことができます。0。001ミリの精度で微細なディテールを作り出すことができ、最大400 wphのスループットを実現し、最大8つのプロセスを同時に実行することができます。GASONICS Aura 3010には、それを特に魅力的にするためのいくつかの追加機能もあります。高精度のビジョン装置と3Dセンシング機能を備えており、すべてのプロセスが正確であることを保証します。さらに、過熱保護システム、フォールトアイソレーションユニット、エア過圧作動機などの安全機能を備えています。結論として、NOVELLUS Aura 3010は、高精度で複数の安全機能を備えたエッチャー/アッシャーです。様々なサイズの基板から材料を除去することができ、精度の高い微細なディテールを製造することができます。