中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293598156 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010は、高度な技術アプリケーション向けの精密エッチャー/アッシャーです。その設計と堅牢な機能により、GASONICS Aura 3010は、材料工学およびエッチング/アッシャーアプリケーションの分野で使用するための重要なツールとなります。このユニットは、薄膜、エッチング、アニールから複数のアプリケーションを簡単に処理できます。NOVELLUS Aura 3010は10umのステップ分解能で精密部品を操作することができ、精密なX-Y、 Z、および回転運動のために最大8-5軸ステージで構成することができます。また、精密な温度制御とエッチプロファイル制御のための高度なソフトウェアとオートメーションコントロールが装備されています。Aura 3010に利用できるいろいろな暖房源があります、それは材料の範囲を処理することを可能にします。構造金属、ポリマー、光学的に蓄積された薄膜などがあります。さらに、シングルレベルとマルチレベルのさまざまなマスクで構成することができ、さまざまなパターン作成プロセスに適しています。GASONICS/NOVELLUS Aura 3010の設計により、プロセスパラメータを詳細に制御することもできます。これには、温度、圧力、反応チャンバのサイズの制御、および正確なエッチング/アッシャープロファイルを生成するためにターゲット材料の厚さを変化させる機能が含まれます。GASONICS Aura 3010には、幅広い入出力オプションも装備されています。これらには、Ethernet、 USB、および簡単なデータ転送のための統合ソフトウェアが含まれます。さらに、このユニットには、プロセスパラメータと結果をレビューするためのさまざまなプロセスレポート機能が含まれています。全体的に、NOVELLUS Aura 3010は、薄膜および構造材料の精密な処理が可能な高度なエッチング/アッシャーです。その設計は、正確な温度制御、マスキング機能、および幅広い入出力オプションをサポートしています。これらはすべて、多くの材料工学アプリケーションで使用するのに理想的なツールです。