中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9227352 を販売中

ID: 9227352
Plasma asher / Descum dry asher.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LLは、半導体業界で最も要求の厳しい要件を満たすように設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、革新的な独自のガストポロジーと分散処理機能を使用して、ユーザーがより高いスループットと優れたデバイス性能を達成できるようにします。高度な処理能力を備えたGASONICS Aura 2000LLは、最高の歩留まりと最高クラスの品質を提供します。NOVELLUS AURA 2000 LLは、高性能エッチャー/アッシャーヘッドを中心に設計されています。これにより、今日最も精密なデバイスに必要なmmレベルの精度が得られます。高度なエッチャーおよびアッシャーチャンバーは非常に効率的であり、エッチャーからアッシャーへのイオンの効率的な移動を可能にします。これは、サイクル時間を短縮し、長いプロセス実行にわたって一貫した結果を提供するのに役立ちます。Aura 2000LLはまた、ユーザーがエッチングとアシャーリングのプロセスを正確に制御できるようにするさまざまな高度な機能を提供しています。高度なプロセス制御機能により、ユーザーは特定のアプリケーションに合わせてエッチング/アッシャーを調整でき、プロファイリング精度を向上させ、デバイスの歩留まりを向上させることができます。また、高度なプラズマ放出モニタリング(PEM)システムを搭載しており、ユーザーはリアルタイムでエッチング処理を監視できます。これは、完璧なデバイスのパフォーマンスと歩留まりを確保するのに役立ちます。AURA 2000 LLは、高度なガス供給ユニットを使用して、エッチング/アッシャーを正確に制御します。これにより、ユーザーはエッチング/アッシャーごとにガスレートをカスタマイズでき、一貫性のある再現性のある結果を保証できます。高度なソフトウェアプラットフォームは、ユーザーがプロセス設定をすばやく最適化するのに役立ちます。GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LLは、1時間あたり最大60個のウェーハを処理でき、さまざまなプロセス条件下で動作するように設計されています。全体として、GASONICS AURA 2000 LLは、今日最も要求の厳しい半導体アプリケーションのニーズを満たすように設計された革新的なエッチャー/アッシャーマシンです。高度な機能と機能を備えたNOVELLUS Aura 2000LLは、比類のない精度とパフォーマンスをユーザーに提供します。
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