中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9145302 を販売中

GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL
ID: 9145302
ウェーハサイズ: 8"
Ashers, 8".
Gibar GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LLは、さまざまなタスクを達成するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この2000LLは、結晶成長およびパターン生成機能、容量変調、イオンビーム加速度など、あらゆる部門で高い機能数を提供します。フットプリントが小さく高精度なGASONICS Aura 2000LLは、毎回均一で高性能な結果をもたらすことができます。この2000LLは、VMEに準拠した統合されたマイクロプロセッサ装置を備えており、プロセスパラメータを迅速に制御し、パフォーマンスとシステム制御を強化します。この機械はまた、さまざまな真空レベルと温度を提供します。この2000LLは、金属などの材料のドライエッチング、ウェットエッチング、ウェットフォトレジスト除去、エッチングクリーニング、パターニング成膜に使用できます。2000LLのコンパクトな設計は比較的ユーザーフレンドリーで、人間工学に基づいた設計要素、クイックリリースポート、および調整可能なレイクアウト機能を提供します。取り外し可能なプラテンオプションにより、ジョブ間のユニット部品の容易な転送が可能になり、高効率のガスおよびカートリッジ供給機は、材料の積み込みと洗浄のオペレータ時間を短縮します。NOVELLUS AURA 2000 LLは、3軸ビームフォーカス、3D出力制御用パワーコントロールモジュール、光波形モニタリングなど、さまざまな高度なビーム監視および制御機能を提供します。さらに、2000LLの可変周波数駆動出力オプションにより、基板温度およびマシンプロセス設定を厳密に制御できます。Gibar GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LLは、さまざまな材料に精度と一貫性を提供するように設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。統合されたマイクロプロセッサ、調整可能なrakeoutfeature、多軸ビーム集中、波形監視機能により、洗練された使いやすく、正確で信頼性の高いエッチングおよびアッシングツールをお探しのお客様に最適です。
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