中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9113641 を販売中

GASONICS/NOVELLUS AURA 2000LLは、精密生産と高スループットを提供する高度な製造のためのエッチャー/アッシャー装置です。半導体ウェーハ製造のための信頼性の高い高密度プラズマ（HDP）プロセスで、堅牢なエッチングとアッシングを提供するように設計されています。この最先端のシステムは、プロセスログ、アラーム、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンで完全に自動化され、シンプルな操作が可能です。GASONICS Aura 2000LLは、高精度のための高度なHDP技術を備えています。可変圧力ユニットは、一貫したプラズマ環境を維持しながら、治療プロセスのエネルギッシュな可能性を最大化するのに役立ちます。また、改良されたクリーン加工法により、欠陥が少なく、歩留まりも向上しています。このツールには、製品の品質とプロセスの安定性を向上させるための包括的な検出と欠陥のない機能が装備されています。その高度なリアルタイムフォールトチェックにより、スムーズな操作と迅速なアラーム応答が保証されます。さらに、レシピはプロセスパラメータの変化に応じて自動的に最適化および調整され、統合ビジョンアセットは高度なプロセス監視と検出を利用します。また、高度な機械設計と高度なコーティング機能を備えており、精度を高めています。洗練された自動化されたウェーハ搬送装置は、製品のスムーズな流れを保証し、低質量設計は過酷な振動を低減します。さらに、幅広いウエハーや基板を扱うことができるため、さまざまなタスクに対応する汎用性と信頼性の高いツールとなります。NOVELLUS AURA 2000 LLは、高度な半導体製造事業のための強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーシステムです。その高度なHDP技術、包括的な検出と欠陥のない機能、堅牢なレシピ最適化機能、高度な機械設計により、さまざまなタスクに正確な生産と高スループットを提供します。