中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293749487 を販売中

GASONICS/NOVELLUS AURA 2000LLは、幅広いアプリケーションの信頼性、正確性、高スループット処理を提供するように設計されたプラズマエッチャー/アッシャーです。これは、高度な閉鎖燃焼プレナムチャンバーと独自のガス消費監視装置を備えています。これにより、あらゆる基板の精密なエッチングが可能になり、スループット率が向上します。このシステムは、ウェーハからウェーハまでの均一なプラズマ品質を保証する独自の自動化されたエンドオブサイクルインライン検査ユニットによってさらに強化されています。このマシンは、プラズマパラメータを制御し、エッチング深度のバリエーションを最小限に抑え、より信頼性の高いプロセス結果を実現するツインエンジン電源を搭載しています。微細加工のための低消費電力で動作する全自動デュアル周波数ジェネレータと、より大きな領域のアプリケーションのための高出力を備えています。可変圧力チャンバーツールは、圧力、ソース電力、ガス流量、ガス組成などのプロセスパラメータを制御することにより、正確で再現性のあるエッチング結果を保証します。GASONICS Aura 2000LLは、エッチング工程で複数のガス組成物を使用できる絶縁チャンバーを使用しています。これにより、異なる材料を同時にエッチングすることができます。さらに、エッチングパラメータの高度なin-situハードウェア制御を備えているため、エッチングプロセスの正確なチューニングと制御が可能です。このモデルの大きなチャンバーサイズと複数のウエハハンドリング機能により、大容量アプリケーションに最適です。複数の自動誘導ウェーハローディング/GISハンドリングオプションにより、ウェーハの迅速かつ正確な位置決めが可能です。NOVELLUS AURA 2000 LLは、正確なパラメータアライメントとウェーハあたりの正確なアライメント制御を可能にする高解像度イメージング装置を備えています。さらに、統合されたデータアナリティクスを提供し、エッチングレシピを最適化して歩留まりを改善し、コストを削減します。また、カスタマイズ性が高く、各種エッチングプロセスに最適化することで、パフォーマンスとプロセス効率をさらに向上させます。全体として、AURA 2000 LLは効率的で正確で高性能なプラズマエッチャー/アッシャーであり、今日最も要求の厳しいアプリケーションのニーズを満たしています。