中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293658974 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LLは、シリコン、金属、化合物半導体材料、フォトレジストなど、幅広い材料を処理するために設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は高度な蒸気相エッチング機能を備えており、マイクロエレクトロニクス、バイオメディカル、機械用途向けの材料の高性能処理を可能にしています。GASONICS AURA 2000LLエッチャー/アッシャーは、低圧RF周波数ガスを使用して導電性材料と非導電材料の両方を正確にエッチングし、優れた均一性とスループットを維持します。また、高度な診断およびプロセス制御システムを使用して、プロセスの再現性を確保し、プロセス全体の精度を維持します。このマシンは、プロとアマチュアユーザーの両方のニーズに合わせてカスタマイズされており、初心者と経験豊富なユーザーの両方に簡単で簡単な操作を提供する自動および手動のチューニング機能を備えています。この機械は、プロセスチャンバーとエッチングガスデリバリーシステムの2つのモジュールで構成されています。メインチャンバーは、最大直径5インチのウェーハを受け付けることができ、表面全体のエッチングの均一性を最大限に高めるために完全に引込められた拡散板を備えています。ガスデリバリーユニットにはデジタル圧力制御機能が搭載されており、ガスフロー調整による精密なエッチングが可能です。統合された制御システムは、すべてのエッチングパラメータを完全に制御および可視化することができ、セットアップを容易にし、最高のエッチング結果を達成するプロセスを簡素化することができます。これは、エッチングプロセスを継続的に監視し、エッチングの進行を示す読み出しを生成する内蔵のシングルポイント検出機と組み合わされています。NOVELLUS AURA 2000 LLエッチャー/アッシャーは、幅広いエッチング用途に適した高精度、信頼性、生産性の高いツールです。その優れたプロセス制御機能は、一貫した結果を達成するための複雑で正確な方法を提供します。このマシンは、高精度のエッチングを必要とするあらゆるアプリケーションに適しており、メンテナンス性が低く手頃な価格の設計により、あらゆるサイズの動作に最適です。