中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605214 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、半導体ウェーハのエッチングおよびクリーニングに最適なエッチャー/アッシャーです。誘電体の作業のための手動オーバーライドで、完全に自動化されています。LCDタッチスクリーンは、すべてのセットアップ、プログラミング、およびプロセス制御に使用されます。このユニットには、同時処理のための完全に独立した2つのエッチャーと、迅速な並列処理のための2つのプロセスチャンバーがあります。GASONICS Aura 2000は、200mmまでの様々なサイズのウエハーを最大4つまで収容できるように設計された原子炉室と、特殊な形状のサンプルを備えています。調整可能な周波数デジタル電源によって駆動される強力なRF誘導ジェネレータを備えており、プラズマエッチング処理を正確に制御できます。インダクタは、プロセスのニーズに応じてチューニングすることができる単一またはデュアル周波数コイルのいずれかを駆動することもできます。NOVELLUS Aura 2000には、多機能RF-Ready Beam Creelと呼ばれる高精度のラドルまたはボート配送装置も搭載されています。この高度なシステムは、エッチング剤、化学薬品、その他の反応剤を正確に供給することができます。クリールには、ウェーハの正確な位置決めとエチャントの正確な配信のためのRFプローブが装備されています。Aura 2000には、正確なフロー制御と迅速な分析のための統合されたマルチガスデリバリーユニットもあります。このマシンは、単一または複数のガス供給のために完全に自動化することができ、正確な制御とマルチモードレシピの柔軟性を可能にします。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、In-sulatorベースの蒸着、スパッタ蒸着、反応性イオンエッチング、アウトガス除去、汚染エッチングなど、さまざまな業界標準のプラズマエッチングプロセスと完全に互換性があります。その高度なプロセスチャンバー設計により、常に正確で均一なチャンバー温度が保証され、幅広いエッチングおよびクリーニングプロセスに最適です。最後に、GASONICS Aura 2000には、内蔵のデジタル制御ツールやセキュリティロックなど、多くの安全機能があり、認定された従業員だけがユニットにアクセスできるようにします。この資産には4つのレベルの緊急停止機能があり、緊急時にはオペレータが迅速かつ安全に応答することができます。また、緊急または異常動作の場合に詳細なレポートとアラームを生成することができます高度な診断モデルが含まれています。