中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605212 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、ウェーハ製造における幅広いプロセス向けに設計された高性能プラズマエッチャー/アッシャーです。GASONICS Aura 2000は、高イオンエネルギーを供給し、プロセスチャンバーを効率的に洗浄することにより、基板の超高速エッチングとアッシングを可能にする高真空（HV）プラズマ技術を搭載しています。このエッチャーは、直径12インチまでの基板サイズと、1000°Cまでのプロセス温度に対応できます。NOVELLUS Aura 2000には、エッチャーやアッシャーのリーダーになるさまざまな機能があります。独自の超高密度プラズマ技術により、効率的なエッチングおよび灰レートを実現し、他のエッチングシステムと比較してプロセス時間を20倍に短縮できます。つまり、Aura 2000は、リアクティブイオンエッチング（RIE）やドライプラズマエッチングなど、幅広い種類のエッチングで複雑なプロセスを処理できます。超高速エッチング速度と、蒸着前にウェーハを化学的にパッシベートする機能が組み合わされているため、GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、プロセスコストを削減しながら一貫したパフォーマンスを実現できます。GASONICS Aura 2000の堅牢な真空チャンバと高性能制御システムは、持続的な超高真空環境の維持に伴うオーバーヘッドコストの削減に役立ちます。さらに、高度な光学システムにより、オペレータはパススルー表示ウィンドウを使用してプロセスをリアルタイムで観察することができ、迅速かつ正確なトラブルシューティングを可能にします。NOVELLUS Aura 2000は、自動化された柔軟なレシピを使用して、さまざまなプロセス手順の中で再現性を確保し、ウェーハプロセス手順を繰り返しながら一貫性を保ちます。Aura 2000は、4nm以上の解像度を備えているため、ナノレーザーを実装したエッチングや灰プロセスや、従来およびデジタル画像の強化に精度をもたらすことができます。エッチングには高度な密閉シールも含まれており、酸化および汚染の低減によるプロセス速度と歩留まりの向上を可能にします。GASONICS/NOVELLUS AURA 2000は、直径12インチのさまざまなウェーハ基板サイズに対応できる最先端のプラズマエッチャー/アッシャーです。高速処理のための独自の超高密度プラズマ技術、効率的なメンテナンスのための堅牢な真空チャンバー、リアルタイム監視のための高度な光学系、再現性のための自動化された柔軟なレシピを備えています。密閉シールと高性能制御システムにより、オーバーヘッドコストを低減し、解像度は4nmよりも優れています。GASONICS Aura 2000は、オーバーヘッドコストを削減しながら、最適なエッチングおよび灰プロセスを提供することが保証されています。